Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка быстрого вжигания Unitemp RTP-100

Производитель: Unitemp GMBH
Назначение установки
Печь для проведения быстрых термических процессов (RTP/RTA)

Печь RTP-100 предназначена для проведения процессов термической обработки полупроводниковых пластин, в которых требуется высокая скорость нагрева и охлаждения в вакууме и в инертных средах. Компактный дизайн и простота в использовании делают эту модель наиболее привлекательной для использования в лабораториях и R&D центрах при проведении исследований и разработке новых устройств. Печь оснащена современным контроллером Siemens с сенсорным экраном диагональю 7 дюймов. Программное обеспечение позволяет создавать до 50 программ температурной обработки, включающих в себя до 50 шагов. Также программное обеспечение позволяет контролировать в ручном режиме скорость нагрева и охлаждения, подачу инертного газа, устанавливать пароль доступа и осуществлять запись данных проводимых процессов. Благодаря большому количеству доступных опций и возможности гибко подобрать комплектацию, с помощью печи может решаться большое количество технологических задач.

В качестве опций доступны адаптеры для пластин диаметром 50 и 75 мм, графитовые плиты для образцов неправильной формы, дополнительные термопары, вторая рабочая камера, встроенный теплообменник с возможностью подключения к магистральной системе охлаждения, различные вакуумные системы, опция подачи водорода, анализатор концентрации кислорода (несовместим с опцией подачи водорода) и анализатор влажности в рабочей камере.

Технические характеристики:

Макс. размер пластин 100 мм (4″)
Материал камеры Нерж. сталь (опционально кварцевое стекло)
Высота камеры 10 мм
Система загрузки подложек поддон из кварцевого стекла
Макс. давление вакуума до 10-3 мбар (торр)
Размер камеры 110 х 110 х 11 мм
Макс. температура 1200 °С
Нагрев ИК лампы (18 кВт)
Зоны нагрева верхняя и нижняя (программируемые)
Скорость нагрева до 150 С/сек
Скорость охлаждения с 1200°С до 400°С : 200К/мин, с 400°С до 100°С : 30К/мин
Температурный контроллер встроенный
Газовые линии

Одна газовая линия (возможна установка до трёх

дополнительных линий)

Эл. питание 3×32 А, 230 В, 3 фазы
Размер установки 505×504×420 мм
Вес печи 70 кг

 

Производитель

Компания UniTemp GmbH основана в Германии в августе 2000 г. UniTemp работает в сфере разработки и производства оборудования для термических процессов в микроэлектронике. Одним из основных на правлений развития компании является создание систем быстрого высокотемпературного вжигания с высокими показателями скорости температуры нагревания и охлаждения.