Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Вакуумная печь с верхней загрузкой Unitemp VPO-1000-300

Производитель: Unitemp GMBH

Вакуумная печь быстрого термического отжига UniTemp VPO-300-1000 - это установка класса R&D, в которой реализован высокоскоростной нагрев образцов с помощью инфракрасных ламп. Установка идеально подходит для обработки образцов и полупроводниковых пластин, которые необходимо подвергнуть температруной обработке в течение небольшого промежутка времени. Высокая скорость нагрева позволяет сократить общее время процесса термообработки и сохранить "термический бюджет" образца (общее допустимое время нахождения образца под воздействием высокой температуры). Поскольку данная установка разработана для проведения исследований и прототипирования, загрузка и обработка образцов осуществляется преимущественно поштучно (возможна групповая обработка, если образцы помещаются на термоплиту). Печь VPO-300-1000 имеет "холодные" стенки, благодаря чему рис травмирования оператора в ходе работы печи минимален. 

В печах UniTemp реализован перекрёстный нагрев с помощью двух массивов инфракрасных ламп (сверху и снизу), а нагреваемая плита, на которой размещаются образцы, обеспечивает превосходную температурную однородность, что напрямую влияет на повторяемость процесса. 

Печь UniTemp VPO-300-1000 применяется для обработки пластин диаметром до 300 мм и некруглых образцов размером до 300х300 мм. Конструкция камеры позволяет установить дополнительные окна для оптических измерительных приборов, термопар, газовых форсунок и других компонентов.

Наиболее типичные применения:

  • Отжиг
  • Быстрые термические процессы
  • SiAu, SiAl, SiMo легирование
  • Low-k диэлектрики
  • отжиг после имплантации

Технические характеристики:

 Максимальный размер пластин, мм Ø300 или 300х300
 Материал камеры

Полированный алюминий

(опционально нержавеющая сталь)

 Размеры камеры, мм 350х350х50
Высота камеры 50 мм (опционально 120 мм)
Вакуум, мбар До 10-3
 Максимальная температура, °С 1000
 Нагрев Нижний нагрев: 2х12 ИК ламп (21 кВт)
Верхний нагрев: 2х12 ИК ламп (21 кВт)
 Скорость нагрева 180 К/мин
 Скорость охлаждения

Т = 1000°С > 400°С: 200К/мин,

Т = 400°С > 100°С: 30К/мин

 Регулятор потока  Расходомер с ручной регулировкой
 Контроллер  PID контроллер
 Охлаждение камеры  Вода
 Охлаждение внутри камерного пространства  Газообразный азот
 Электрические параметры  Мощность 36 кВт(2×18 кВт)
380В, 3Ф+Н+З
 Размеры  505×504×680 мм
 Вес  100 кг

 

Производитель

Компания UniTemp GmbH основана в Германии в августе 2000 г. UniTemp работает в сфере разработки и производства оборудования для термических процессов в микроэлектронике. Одним из основных на правлений развития компании является создание систем быстрого высокотемпературного вжигания с высокими показателями скорости температуры нагревания и охлаждения.