Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система плазмы низкого давления Diener Electronic Tetra 30

Производитель: Diener Electronic

Установки плазменной обработки поверхности Diener серии Tetra предназначены для очистки, активации и травления поверхности, а также нанесения покрытий на изделия из полупроводниковых, кварцевых, стеклянных и прочих материалов в вакууме. Серия Tetra 30 предназначена для мелкосерийного производства и отличается от модели Femto увеличенным объемом вакуумной камеры (34 литра) и более мощным генератором. Установка производится в напольном исполнении и управляется при помощи компьютера. Поддерживается работа с пластинами различных размеров и формы. Все генераторы непрерывно регулируются в диапазоне от 0 — 100%.

Большой выбор комплектующих и опций позволяет сконфигурировать установку без больших затрат. Установки могу быть оснащены следующими опциями: двухходовым клапаном для дозирования жидкости, фильтром из активированного угля, приемным фильтром для вакуумного насоса, распылителем газа, редуктором давления, камерой фарадея, нагревательными панелями, температурным индикатором и т.д.

Технические характеристики:

Вакуумная камера Нержавеющая сталь: прямоугольная с откидной дверцей (ширина 305 мм, высота 300 мм, глубина 370 или 625 мм)
Газоснабжение 2 канала подвода газа с игольчатым клапаном или контроллером массового расхода газа
Загрузка Лоток (возможна установка водяного охлаждения), лодочка из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лоток из алюминия, нержавеющей стали, боросиликатного или кварцевого стекла
Электроды

Одно- или многоярусный (до 6 ярусов) электрод

RIE-электрод

Управление

Компьютерная система управления на базе Windows CE

Компьютерная система управления на базе Windows XPE

Датчики давления

Датчик Пирани

Баратрон

Таймер Цифровой
Характеристики генератора

Частота 40 кГц: Мощность 0 — 1000 Вт, 0 — 1500 Вт, 0 — 2500 Вт

Частота 13,56 МГц: Мощность 0 — 300 Вт, 0 — 600 Вт

Частота 2,45 ГГц: Мощность 0 — 600 Вт, 0 — 1200 Вт

Вакуумный насос Leybold, тип D16B (16 м³/ч)
Габариты 600×1800×800 мм
Вес 250 кг (без учета вакуумного насоса)

 

Производитель
Компания Diener electronic (Германия) — известный производитель оборудования для плазменных процессов основана в 1993 году и специализируется на производстве систем для очистки и обработки поверхности в атмосферной плазме и плазме низкого давления, высокочастотных генераторов плазмы и атмосферной плазмы.