Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка лазерной абляции PVD Products PLD 3000

Производитель: PVD Products

Система PLD 3000 предназначена для нанесения методом лазерной абляции тонких пленок на подложки размером до 3″. Установка поддерживает работу либо с одной подложкой размером 3" или 2", либо с несколькими подложками меньшего размера или сложной формы. Вакуумная камера типа 304L SS оснащена фронтальной дверью, которая обеспечивает удобный доступ и значительно упрощает процесс замены подложки и мишени. Камера снабжена несколькими портами: окна наблюдения за мишенью и подложкой, а также порты для встраиваемого диагностического оборудования.

Для подогрева подложки в установке используется запатентованная конструкция «черного» нагревателя или инфракрасные нагревательные лампы. Нагреватель покрыт медными щитами с водяным охлаждением, которые минимизируют нагрев стенок камеры. Прозрачные материалы, например, сапфир, LaAlO3, MgO нагреваются до 850°С без связывающего агента (серебряная паста), непрозрачные до 950°C. Три больших подставки для мишеней предназначены для осаждения многослойных пленок. Предварительная откачка воздуха из камеры производится механическим насосом. Для достижения высокого вакуума установка снабжена турбомолекулярным насосом. Все клапаны в вакуумной системе имеют электропневматический привод и автоматически срабатывают при сбоях в электроснабжении. Система поставляется вместе с ноутбуком для управления всеми функциями установки Nano PLD, а также эксимерным лазером.

Возможно оснащение системы следующими опциями: загрузочный шлюз, ионная пушка для проведения напыления с поддержкой ионным лучом (IBAD), порты или целые системы для исследования методом дифракции быстрых электронов (RHEED), источники магнетронного распыления, безмаслянный насос, специальные держатели подложек, программный пакет MAPLE и т.д.

Технические характеристики:

Стабильность температуры ±3 °С на подложке кремния размером 3″
Рабочий диапазон давления от 6×10-7 Торр до 500 мТорр
Размер мишени 3 мишени размером 4″
Однородность толщины пленки ±4% на 90% поверхности подложки размером 3″ для пленки размером 500 нм
Равномерность наносимой плёнки по составу ± 1,5 атомных % по поверхности 3″ пластины
Расстояние от мишени до пластины подстраиваемое от 3,5″ до 5″
Номинальный угол падения лазерного луча на мишень 60°
Давление в рабочей камере без воздушного шлюза до 5•10-7 Торр
Давление в рабочей камере с воздушным шлюзом (опция) до 5•10-8 Торр
Рабочая длина волны лазера 248 нм (KrF) или 193 нм (ArF)

 

Производитель

Компания PVD Products основана в 1995 г. и специализируется на разработке и производстве уникальных систем нанесения высококачественных тонких пленок, в том числе установок лазерной абляции (PVD) для получения пленок сложного состава, а также комплектующих к этим устройствам.