Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Полуавтоматическая центрифуга отмывки фотошаблонов модели SPS APT АCD-200 NPP c автоматической подачей веществ (настольная версия)

Производитель: SPS-Europe

Установка предназначена для отмывки подложек спрей-методом. Корпус выполнен из полипропилена. Куполообразная крышка изготовлена из прозрачного полимера. Подача рабочих веществ осуществляется через дозаторы-форсунки, установленные на крышке. Подводы к дозаторам представляют собой трубки из полимерного материала. Дозаторы снабжены клапанами обратного давления для предотвращения неуправляемого протекания рабочих веществ. Выход продуктов смыва осуществляется через слив, расположенный на дне центрифуги. Диаметр слива 1,25″.

Фотошаблон закрепляется в установке с помощью вакуумного держателя. Поддерживается работа с пластинами и осколками размером до 200 мм а также пластин нестандартных размеров с использованием специальных держателей. Управление установкой осуществляется программно, с помощью встроенного микроконтроллера. Задание программы осуществляется с клавиатуры. Состояние и режим работы центрифуги отображается на экране с подсветкой. Возможно задание 50 программ из 99 пунктов каждая. Каждый пункт задает время выполнения, скорость вращения двигателя центрифуги (0-6000 об/мин), его ускорение (0-3000 об/мин*с), включение присоса.

Основные технические характеристики:

Размер пластин До 200 мм
Максимальное количество задаваемых программ Возможно задание 50 программ из 99 пунктов каждая
Скорость вращения двигателя центрифуги 0-6000 об/мин
Ускорение центрифуги 0-3000 об/мин*с
Габаритные размеры (ШхВхД) 330×310×550 мм
Вес 22 кг
Производитель

Голландская компания Semiconductor Production Systems (SPS) является одним из ведущих дистрибьюторов инструментов, мелкого оборудования и расходных материалов для производства полупроводниковых материалов, МЭМС-устройств, а также биотехнологических производств. Около 25 лет компания выполняет поставки и оказывает сопутствующие услуги по всей Европе. Продукция, поставляемая компанией SPS, охватывает такие этапы производства, как фотолитография, нанесение тонких пленок, хранение и транспортировка пластин, жидкостная обработка пластин и многие другие.