Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker PVD250

Производитель: Kurt J.Lesker Company

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker PVD250 фактически представляет собой установку PVD75 с вакуумной камерой увеличенного объема. Вакуумная камера позволяет размещать большее количество источников и реализовывать большее количество конфигураций для комбинированного напыления при помощи источников разных типов.

Основное применения установки — электронно-лучевое напыление. В установке можно реализовать большое и изменяемое расстояние источник-подложка, а также куполообразный держатель для электронно-лучевого напыления (процесс «lift-off»).

Управление установкой осуществляется при помощи ПК с «тач-скрин» дисплеем. Установка работает как в полностью ручном, так и в автоматическом режиме по рецептам. В автоматическом режиме выполнение программы происходит по нажатию одной кнопки. Система настраивается таким образом, что стандартный процесс инициируется кнопкой старт сразу после закрытия камеры: откачка, очистка, напыления и напуск происходят автоматически по заранее заложенной программе.

Широкий перечень опций установки PVD250 позволяет фактически конфигурировать установку под заказ в каждом случае. Установка может быть сконфигурирована практически для всех задач напыления в R&D лаборатории или на производстве. Дополнительно установка может быть укомплектована лодочками, тиглями и другими расходными материалами, полный перечень которых можно найти на сайте www.lesker.com.

Пуско-наладочные работы, гарантийное и постгарантийное обслуживание всего модельного ряда установок Kurt J Lesker производит компания ЗАО «ЭлТех СПб» на правах эксклюзивного представителя компании Kurt J. Lesker в России.

Основные технические характеристики:

Вакуумная камера D-образная камера из нержавеющей стали 24"х24"х30″
Вакуумный насос ТМН 1000л/с или крионасос 1500л/с, спиральный фор-насос 35 м3/час
Магнетронные источники 1″, 2″, 3″, 4″ , промышленные линейные и циркулярные
БП магнетронных источников ВЧ300Вт, ВЧ600Вт, DC1кВт, DC2кВт, Pulsed DC1.5кВт, промышленные DC и RF до 10 кВт
Автоматическое поддержание давления (для версии с магнетронами) На основе РРГ и емкостного вакуумметра
Электронно-лучевой испаритель

KL-6: 5кВт или 10кВт, 8×2см3, 6×4см3, 4×8см3

KL-8: 5кВт или 10кВт, 8×12см3, 6×20см3, 4×35см3

Термические испарители До 6 лодочек, лодочки и тигли для любых материалов доступны для заказа
Испарители органических материалов Объем от 1 до 30 см3
Ионная пушка KRI EH200
Контроль толщины (мониторинг для магнетронного процесса) На основе кварцевых датчиков с заслонками. При термическом напылении датчики связаны с БП источников для автоматической работы.
Подложкодержатель

Плоский, купол, доступны конфигурации под заказ

Размер образцов: 2″, 3″, 4″, 6″, 8«, 60×48мм, образцы произвольной формы

Предельный уровень вакууума 10-7 торр
Время откачки до 10-6 торр ~15 мин (Крионасос 1500л/с)
Габариты установки 2300×1300 мм + выносные блоки

Перечень опций:

(полный перечень опций по запросу)

  1. Окно для вакуумной камеры с заслонкой
  2. Сменные внутренние кожухи для сбора металла (для вакуумной камеры)
  3. Система «байпас» для рабочего насоса (шибер и вакуумная арматура)
  4. Чиллер (замкнутая система нагрева/охлаждения)
  5. Переключатель для магнетронов: один БП можно использовать для (до)4 магнетронов при работе попеременно
  6. Вращение подложкодержателя 0-20 об/мин
  7. Z-Перемещение подложкодержателя
  8. Нагрев подложкодержателя 150С, 350С, 500С (до 6″), 800С (до 6″), 1000С (до 6″)
  9. Водяное охлаждение подложкодержателя
  10. ВЧ смещение на подложкодержатель
  11. Различные конфигурации заслонок
  12. Дополнительные кварцевые датчики с заслонками
  13. Вакуумная камера для изоляции электронно-лучевого испарителя
  14. Доступны конфигурации подложкодержателя под заказ, включая конфигурации под двухстороннее напыление
Производитель
Компания Kurt J. Lesker Company, основанная в 1954 году, на сегодняшний день является динамично развивающимся производителем и поставщиком технологического оборудования и компонентов для рынка вакуумных технологий. Компания имеет многолетний, более 20 лет, опыт создания вакуумных установок для осаждения тонких пленок.