Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker PVD500

Производитель: Kurt J.Lesker Company

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker PVD500 фактически представляет собой установку PVD75 с вакуумной камерой увеличенного объема. Вакуумная камера позволяет размещать источники большой емкости и мощности для реализации процессов пилотного производства.

Основное применения установки — электронно-лучевое напыление и магнетронное распыление на большие партии пластин. В установке можно реализовать большое и изменяемое расстояние источник-подложка, а также куполообразный держатель для электронно-лучевого напыления (процесс «lift-off»).

Управление установкой осуществляется при помощи ПК с «тач-скрин» дисплеем. Установка работает как в полностью ручном, так и в автоматическом режиме по рецептам. В автоматическом режиме выполнение программы происходит по нажатию одной кнопки. Система настраивается таким образом, что стандартный процесс инициируется кнопкой старт сразу после закрытия камеры: откачка, очистка, напыления и напуск происходят автоматически по заранее заложенной программе.

Широкий перечень опций установки PVD500 позволяет фактически конфигурировать установку под заказ в каждом случае. Установка может быть сконфигурирована практически для всех задач напыления в R&D лаборатории или на производстве. Дополнительно установка может быть укомплектована лодочками, тиглями и другими расходными материалами, полный перечень которых можно найти на сайте www.lesker.com.

Пуско-наладочные работы, гарантийное и постгарантийное обслуживание всего модельного ряда установок Kurt J Lesker производит компания ЗАО «ЭлТех СПб» на правах эксклюзивного представителя компании Kurt J. Lesker в России.

Основные технические характеристики:

Вакуумная камера D-образная камера из нержавеющей стали 24"х24"х30″
Вакуумный насос Крионасос 1500л/с или 3000л/с, спиральный фор-насос 35 м3/час
Магнетронные источники Промышленные линейные и циркулярные
БП магнетронных источников Промышленные DC и RF до 10 кВт
Автоматическое поддержание давления (для версии с магнетронами)

На основе РРГ и емкостного вакуумметра

KL-8: 5кВт или 10кВт, 8×12см3, 6×20см3, 4×35см3

Термические испарители
До 6 лодочек, лодочки и тигли для любых материалов доступны для заказа
Испарители органических материалов Объем от 1 до 30 см3
Ионная пушка KRI EH400
Контроль толщины (мониторинг для магнетронного процесса) При термическом напылении датчики связаны с БП источников для автоматической работы
Подложкодержатель

На основе кварцевых датчиков с заслонками. Конфигурации под заказ

Размер образцов: 2″, 3″, 4″, 6″, 8«, 60×48мм, образцы произвольной формы

Предельный уровень вакууума 10-7 торр
Время откачки до 10-6 торр ~20 мин (Крионасос 3000л/с)
Габариты установки 1800×1050×2000мм

Перечень опций:

(полный перечень опций по запросу)

  1. Окно для вакуумной камеры с заслонкой
  2. Сменные внутренние кожухи для сбора металла (для вакуумной камеры)
  3. Система «байпас» для рабочего насоса (шибер и вакуумная арматура)
  4. Чиллер (замкнутая система нагрева/охлаждения)
  5. Вращение подложкодержателя 0-20 об/мин
  6. Z-Перемещение подложкодержателя
  7. Нагрев подложкодержателя 150С, 350С
  8. ВЧ смещение на подложкодержатель
  9. Различные конфигурации заслонок
  10. Дополнительные кварцевые датчики с заслонками
  11. Вакуумная камера для изоляции электронно-лучевого испарителя
  12. Доступны конфигурации подложкодержателя под заказ, включая конфигурацию под двухстороннее напыление

 

Производитель
Компания Kurt J. Lesker Company, основанная в 1954 году, на сегодняшний день является динамично развивающимся производителем и поставщиком технологического оборудования и компонентов для рынка вакуумных технологий. Компания имеет многолетний, более 20 лет, опыт создания вакуумных установок для осаждения тонких пленок.