Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker lab18

Производитель: Kurt J.Lesker Company

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker lab18 является модификацией установки PVD75, предназначенной R&D задач. Установка lab18 может быть оснащена вакуумным загрузочным шлюзом для обеспечения высокой чистоты при реализации R&D процессов. Также в установке предусмотрено большое ко-личество специальных R&D опций и широкие возможности для конфигурирования установки под заказ.

Для термического распыления установка оснащается тремя испарителями «лодочками». Для магнетронного распыления могут устанавливаться до четырех магнетронов. Электронно-лучевой испаритель доступен в различных модификациях и может комбинироваться с термическим, магнетронным или испарителем органических материалов. В качестве опции очистки предлагается ионная пушка.

Управление установкой осуществляется при помощи ПК с «тач-скрин» дисплеем. Установка работает как в полностью ручном, так и в автоматическом режиме по рецептам. В автоматическом режиме выполнение программы происходит по нажатию одной кнопки. Система настраивается таким образом, что стандартный процесс инициируется кнопкой старт сразу после закрытия камеры: откачка, очистка, напыления и напуск происходят автоматически по заранее заложенной программе.

Широкий перечень опций установки lab18 позволяет фактически конфигурировать установку под заказ в каждом случае. Установка может быть сконфигурирована практически для всех задач напыления в R&D лаборатории. Дополнительно установка может быть укомплектована лодочками, тиглями и другими расходными материалами, полный перечень которых можно найти на сайте www.lesker.com.

Пуско-наладочные работы, гарантийное и постгарантийное обслуживание всего модельного ряда установок Kurt J Lesker производит компания ЗАО «ЭлТех СПб» на правах эксклюзивного представителя компании Kurt J. Lesker в России.

Основные технические характеристики:

Вакуумная камера D-образная камера из нержавеющей стали 18"х18"х20″
Вакуумный насос ТМН 685л/с или 1000л/с или крионасос 1500л/с, спиральный фор-насос 10 м3/час или 35 м3/час
Магнетронные источники 1″, 2″, 3″, 4″
БП магнетронных источников ВЧ300Вт, ВЧ600Вт, DC1кВт, DC2кВт, Pulsed DC1.5кВт
Автоматическое поддержание давления (для версии с магнетронами) На основе РРГ и емкостного вакуумметра
Электронно-лучевой испаритель KL-6: 5кВт или 10кВт, 8×2см3, 6×4см3, 4×8см3
Термические испарители До 3х лодочек, лодочки и тигли для любых материалов доступны для заказа
Испарители органических материалов Объем от 1 до 30 см3 (не более четырех)
Ионная пушка KRI EH200
Контроль толщины (мониторинг для магнетронного процесса) На основе кварцевых датчиков с заслонками. При термическом напылении датчики связаны с БП источников для автоматической работы.
Подложкодержатель

Плоский, диаметр до 8″ (до 6″ при работе со шлюзом ), доступны конфигурации под заказ

Размер образцов: 2″, 3″, 4″, 6«, 60×48мм, образцы произвольной формы

Предельный уровень вакууума 10-7 торр
Время откачки до 10-6 торр ~10 мин (Крионасос 1500л/с)
Габариты установки
1828×1045×2010мм

Перечень опций:

(полный перечень опций по запросу)

  1. Окно для вакуумной камеры с заслонкой
  2. Сменные внутренние кожухи для сбора металла (для вакуумной камеры).
  3. Система «байпас» для рабочего насоса (шибер и вакуумная арматура)
  4. Чиллер (замкнутая система нагрева/охлаждения).
  5. Переключатель для магнетронов: один БП можно использовать для (до)4 магнетронов при работе попеременно.
  6. Регулируемый угол наклона магнетрона
  7. Вращение подложкодержателя 0-20 об/мин
  8. Z-Перемещение подложкодержателя
  9. Нагрев подложкодержателя 150С, 350С, 500С (до 6″), 800С (до 6″), 1000С (до 6″)
  10. Водяное охлаждение подложкодержателя
  11. ВЧ смещение на подложкодержатель
  12. Различные конфигурации заслонок
  13. Дополнительные кварцевые датчики с заслонками
  14. Вакуумный шлюз с ТМН
  15. Доступны конфигурации подложкодержателя под заказ, включая конфигурации под двухстороннее напыление

 

Производитель
Компания Kurt J. Lesker Company, основанная в 1954 году, на сегодняшний день является динамично развивающимся производителем и поставщиком технологического оборудования и компонентов для рынка вакуумных технологий. Компания имеет многолетний, более 20 лет, опыт создания вакуумных установок для осаждения тонких пленок.