Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка плазмохимического травления Advanced Vacuum Vision 320 RIE

Производитель: Advanced Vacuum

Технологическая платформа Vision компании Advanced Vacuum — это идеальное решение для задач R&D и пилотного производства.

Установки Vision выпускаются в следующих версиях:

  • Vision 320 RIE (реактивное ионное травление, открытая загрузка)
  • Vision 310 PECVD (плазмохимическое осаждение, открытая загрузка)
  • Vision LL ICP (травление с источником ИСП, шлюзовая загрузка)

Платформа в варианте RIE позволяет проводить травление следующих материалов:

  • AlGaN/GaN, AlGaAs/GaAs, InGaAlP, InAlAs, InGaAsP
  • GaAs, GaSb, GaN, InSb, InP, Deep GaP, ZnSe
  • Ta2O5, Al2O3, Bi2Te3, ITO, LiNbO3, PZT, GST, PbSe, SiC
  • Al, Au, Cr, Cu, Mo, Ni, Nb, NiCr, Pt, Ta, Ti
  • BCB, Diamond, Polyimide, PMMA, PDMS, PR
  • Si (cryo etch, HBr etch, C4F8-SF6 etch)
  • и других (по запросу).

Платформа Vision выполнена на базе современной концепции построения технологического оборудования. В системе широко используются интерфейсы DeviceNet и EtherNet, система управления реализована на базе промышленного контроллера (PLC). Панель контроля позволяет управлять установкой по нажатию одной кнопки для ранее заложенных процессов: загрузка/выгрузка пластины, старт/стоп процесса, очистка камеры, откачка камеры и других. Четырехцветная сигнальная башня служит для мониторинга статуса установки в производственном помещении.

Платформа Vision комплектуется ПО Plasma-Therm для контроля окончания процессов травления и осаждения, которое использует оптические спектрометр, интерферометр или лазерный интерферометр.

Каждая установка поставляется с базовым технологическим процессом, параметры которого гарантируются производителем.

Пуско-наладочные работы, гарантийное и постгарантийное обслуживание всего модельного ряда установок Advanced Vacuum производит компания ЗАО «ЭлТех СПб» на правах представителя компании Advanced Vacuum в России.

Дополнительно установка может быть укомплектована системами инженерного обеспечения, газоподачи, утилизации газов.

Основные технические характеристики:

Температура процесса

+5..+40С

Другие варианты по запросу

Вакуумная камера Прогреваемая
Тип прижима Механический с гелиевым охлаждением. Электростатический по запросу
Вакуумный насос

ТМН 450 л/с + фор-насос 100 м3/час

Другие насосы по запросу

Генератор RIE 600Вт, 13.56МГц
Количество газовых линий До 10
Загрузка образцов

Ручная (открытая загрузка), диаметр пластины до 280мм

21×2″, 8×3″, 5×100мм, 1×150мм, 1×200мм, возможность работы с осколками

Тип EPD Оптический спектрометр OES, оптический интерферометр OEI или лазерный интерферометр LEI
Габариты установки 730×930×1172 (2147) мм (газовый шкаф на каркасе)

Перечень опций:

(полный перечень опций по запросу)

  1. Различные варианты комплекта ЗИП
  2. Различные варианты EPD
  3. Возможность установки через стену ЧПП
  4. Модуль травления конфигурируется под технологический процесс
  5. Возможность приобретения расширенной гарантии

 

Производитель
Компания Advanced Vacuum была основана в Швеции в 1993 году. Основной деятельностью компании было проведение сервисных работ: обслуживание и ремонт вакуумного оборудования. Основной специализацией компании были установки плазмохимического травления и осаждения. Со временем, компания Advanced Vacuum стала представителем на территории Скандинавии крупнейших производителей комплектующих, таких как BOC Edwards и других.