Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Инфракрасный сканирующий микроскоп SEMILAB SIRM-300

Производитель: SEMILAB

Сканирующий инфракрасный микроскоп Semilab SIRM-300 – превосходный инструмент для бесконтактного неразрушающего анализа объемных дефектов, таких как кислородные и металлические преципитаты, дефекты упаковки, дислокации, линий скольжения и пустоты в кремниевых пластинах и обедненных зонах. Помимо этого, SIRM-300 подходит для исследования таких полупроводниковых материалов, как GaAs и InP. Анализ построен на том, что большинство полупроводниковых материалов прозрачны в ИК-свете, соответственно, наличие объемных дефектов сказывается на локальных оптических свойствах материала. Благодаря применению отражающей конфокальной сканирующей микроскопии, возможно применение стандартных пластин, отполированных с одной стороны.

Основные характеристики:

- Нет необходимости в пробоподготовке;

- Возможность обнаружения частиц с минимальным размером 10 нм;

- Измеряемая плотность дефектов 105-109 см-3;

- Возможность получения изображений в плоскостях X-Yи X-Z;

- Возможность измерения эпитаксиальных пластин;

- Возможность измерения пластин размером до 300 мм.

Габариты полной системы (основной блок, антивибрационный стол, системный контроллер): 1300x900x1700 мм (ДxШxВ).

Микроскоп может быть оснащен следующими опциями: одинарные кассеты для пластин до 300 мм, держатель пластин с захватом кромки, маркировка местоположения дефектов, ПЗС-камера, двухчастотный лазер с возможностью выбора длины волны излучения.

Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41