Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Тестер пластин SEMILAB WT-2000

Производитель: SEMILAB

WT-2000 - это мощная настольная измерительная платформа, применяемая для измерения различных характеристик полупроводниковых материалов, в частности, для контроля дефектов и загрязнений кремниевых пластин как в объеме, так и в приповерхностной области. Базовая комплектация оснащена всеми функциями, необходимыми для проведения измерений, включает в себя источники питания, компьютерное и операционное программное обеспечение, XY измерительный столик, и прочее. По требованию пользователя система может быть дополнена различными возможностями измерений и автоматизации, представленными далее.

Возможности измерений:

- Измерение времени жизни неосновных носителей заряда методом СВЧ-фотопроводимости. Применяется при анализе объема кремниевых пластин для создания карт дефектов, возникших при росте кристалла и при его обработке, а также карт загрязнений тяжелыми металлами (Fe).

- Определение диффузионной длины неосновных носителей заряда методом поверхностной фото-ЭДС. Метод применяется для создания карт загрязнений тяжелыми металлами (Fe) и карт кристаллических дефектов в объеме кремниевых пластин.

- Определения параметров границы раздела оксид/кремниевая пластина методом бесконтактного снятия кривых V-Q (voltage-charge) с использованием зонда Кельвина, излучением высокой интенсивности и контролируемым коронным разрядом.

- Анализ контактной фото-ЭДС для контроля результатов ионной имплантации (анализ проводится после отжига пластин).

- Бесконтактная методика измерения сопротивления всей поверхности пластины, основанная на использовании эффекта вихревых токов (определения объемного удельного сопротивления пластин, составление карт удельного сопротивления).

Возможно проведение измерений как в режиме сканирования по запрограммированному растру, так и в определенных заданных местоположениях. Система позволяет проводить следующие измерения: измерение объемного удельного сопротивления, измерения толщины, определение типа проводимости, определение времени жизни неосновных носителей заряда, контроль микротрещин, двумерные измерения, контроль возникающих от резки дефектов, обкалывания краёв, контроль поверхностных загрязнений и многие другие.

Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41