Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система измерения профиля распределения сопротивления SEMILAB SRP 2000

Производитель: SEMILAB

Semilab SRP 2000 – это передовая и высокоавтоматизированная система для эффективного полупроводникового производства или передовых R&D целей. Измерительная система Semilab SRP 2000 позволяет быстро проводить измерения распределения сопротивления и концентрации носителей заряда по глубине образца с использованием двухзондового метода. Методика обеспечивает возможность проведения многократных измерений электрических свойств, которые определяют выходные характеристики изделия и его качество. Система имеет широкий динамический диапазон измерений концентрации носителей от 1011 см-3 до предельного значения растворимости примесей в твёрдой фазе. Пространственное разрешение при определении распределения примесей достигает 1 нм, что позволяет проводить измерение характеристик на всех стадиях 130-нм техпроцесса. Система позволяет определять сопротивление с точностью 5-10%, концентрацию носителей с точностью 20-30%.

Система имеет следующие особенности:

- Автоматическая калибровка зондов .16 калибровочных образцов: 8n- и 8p-типа для каждого кристаллографического направления (<100> и <111>)

- Автоматическая система приведения зондов в соответствие техническим нормам (шлифовка, очистка)

- Измерение и обработка до 6 образцов (вручную)

- Автоматическое выравнивание образца и позиционирование зондов

- Простое в использовании программное обеспечение с сохраненными программами измерений для всех анализируемых параметров

 

Технические характеристики:

Микроскоп Многократное увеличение
Интерфейс Клавиатура/шаровой манипулятор/джойстик
Программное обеспечение Microsoft Windows
Удельное сопротивление От 10-4 до 4*104 Ом*см
Сопротивление растекания От 1 до 109 Ом
Концентрация носителей заряда От 1011 до 1021 см-1
Разрешение по глубине (угол 0° 17') 1-100 нм
Габариты 150x81x142 см

 

Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41