Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Прибор для измерения толщины тонких пленок FILMETRICS F50

Производитель: FILMETRICS

Прибор Filmetrics F50 используется для измерений распределения толщины и показателя преломления диэлектрических, полупроводниковых и металлических тонких плёнок по поверхности пластин. Система F50 превосходно подходит для измерения полупроводниковых фототехнических плёнок (нитриды, резисты, поликремний), оптических покрытий (твёрдые, антибликовые покрытия), плёнок для плоскопанельных дисплеев (полимиды, резисты).

Система F50 позволяет определить характеристики тонких плёнок посредством измерения света, отражённого от тонкой плёнки в диапазоне длины, а затем анализируя эти данные путём их сравнения с расчётными спектрами отражения. Получение данных идет со скоростью 2 точки в секунду. Моторизированный столик с полярной системой координат позволяет использовать как стандартные, так и пользовательские подложкодержатели размером до 450 мм в диаметре. Модели с более короткими длинами волн излучения предназначены для измерения более тонких пленок. При увеличении длин волн излучения появляется возможность изучения более толстых, шероховатых и непрозрачных пленок.

В базовую комплектацию входит встроенный спектрометр, блок источника излучения, оптоволоконный кабель, 4'', 6'' и 200мм эталонные пластины, эталоны толщины покрытий SiO2 на Si, вакуумный насос, запасная лампа (источник излучения), пинцеты.

 

Перечень моделей:

Модель Диапазон толщин, мкм Диапазон длин волн,  нм
F50 0,02-100 380-1050
F50-UV 0,005-40 200-1100
F50-NIR 0,1-250 950-1700
F50-EXR 0,015-250 380-1700
F50-UVX 0,005-250 200-1700
F50-XT 0,2-450 1440-1690
F50-XXT 10-1000 1590-1650
F50-CTM-NIR
100-2000 950-1700

 

Технические характеристики:

Точность определения толщины 0,4 % или 20 А
Детектор 512-элементов на Si
Габариты 41 х 35,5 х 28 см
Вес 14 кг
Электропитание 100-240 В, 50-60 Гц, 0,3-0,1 А

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.