Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система измерения толщины тонких пленок FILMETRICS F80-C

Производитель: FILMETRICS

Filmetrics F80-C позволяет проводить измерение распределения толщины тонких пленок по поверхности структурированных пластин. Данная система полностью автоматизирована и прекрасно подходит для использования в производственных линиях, например, для метрологического контроля процессов CVD, PVD, CMP. Установка позволяет проводить измерения пластин размером до 300 мм. Анализ измеряемых характеристик проводится в сравнении с эталонным образцом.

В отличие от аналогичных метрологических инструментов, которые измеряют толщину в одном месте, F80 быстро генерирует карту распределения толщин, собирая тысячи значений в измеряемой области. Прибор имеет очень высокую производительность и способен проводить измерения 300-мм пластины по 21 точке всего за 29 секунду. Система имеет несколько конфигураций: от бюджетных настольных систем с ручной загрузкой до автономных систем с полностью автоматизированной подачей пластин из кассеты в кассету.

Установка может быть оснащена следующими опциями: фильтровентиляционный модуль (высокоэффективный сухой воздушный фильтр), аварийная световая башня (конфигурируется пользователем – 3 или 4 лампы).

 

Технические характеристики:

Размеры измеряемых пластин

F80-c300: 200мм и 300мм

F80-c200: 100, 125, 150 и 200мм

Диапазон толщин 150 А – 5 мкм
Рабочий спектральный диапазон 400 – 800 мм
Точность определения толщины 0,25 % или 2 А
Минимальная измеряемая область 30 мкм
Габариты 103 х 148 х 80 см
Вес 205 кг
Электропитание 100-240 В, 50-60 Гц, 1950 Вт
Вакуум 84,6 кПа

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.