Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка молекулярно-лучевой эпитаксии DCA Instruments P600 MBE-3x2”

Производитель: DCA Instruments

DCA P600 MBE – 3x2” – это высококачественная установка для проведения процессов МЛЭ/MBE, которая прекрасно подходит для решения научно-исследовательских задач. Система позволяет проводить эпитаксиальное выращивание GaN, а также структур типа AIIIBV.

Конструкция ростовой камеры позволяет поместить большое количество эффузионных ячеек, а так же обеспечивает легкость в обслуживании, так как заслонка для источника установлена на каждый отдельный порт. Уникальные вертикальные заслонки позволяют сохранить чистоту материала источника от оседающих остатков материала. Установка DCA P600 MBE может одновременно обрабатывать три 2” или одну 4” пластину.

 

Особенность установки:

- Вертикальная ростовая камера;

- Быстросъёмный фланец с источником;

- От 10 до 12 портов источника;

- Одновременная обработка трех 2” или одной 4” пластины.

Производитель

Компания DCA Instruments, основанная в 1989 году в Финляндии, специализируется на разработке и производстве установок молекулярно-пучковой эпитаксии и систем напыления тонких пленок в сверхвысоком вакууме: PVD, PLD-установок и компонентов для MBE, PVD, PLD систем.