Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Рефлектометр FILMETRICS F10-RT

Производитель: FILMETRICS

Рефлектометр Filmetrics F10-RT используется для измерения коэффициента отражения и пропускания тонких пленок. Прибор позволяет получать спектры отражения и пропускания одним нажатием мыши. Рабочий диапазон прибора охватывает длины волн от 200 до 1700 нм. Анализ измеряемых характеристик проводится в сравнении с эталонным образцом. Полученные данные могут быть экспортированы или выведены на печать. В базовую комплектацию входит программное обеспечение, эталонные образы (Al2O3, Si, BK-7), анти-отражатель, бумага для ухода за оптическими стеклами, встроенный спектрометр и блок светового излучения. Рефлектометр может быть дополнительно оснащен программным обеспечением, позволяющим проводить измерения толщины и коэффициента преломления тонких пленок.

F10-RTA является усовершенствованной моделью и позволяет проводить измерение коэффициента пропускания как при падении излучения перпендикулярно образцу, так и под углом 70°, что приводит значительному расширению возможностей при измерении сверхтонких пленок или тонких пленок сложного состава. Это дает возможность применения прибора в таких областях, как фотовольтаика или OLED-технологии. Помимо прочего, в базовой комплектации система F10-RTA имеет программное обеспечение, позволяющее проводить измерения толщины и коэффициента преломления тонких пленок.

 

Перечень моделей:

Модель Диапазон толщин, мкм Диапазон длин волн,  нм
F10-RT 0,015-70  380-1050
F10-RT-UV 0,003-40  200-1100
F10-RT-UVX 0,003-150  200-1700
F10-RT-NIR 0,1-150  950-1700
F10-RT-EXR 0,015-100 380-1700
F10-RTA 0,005-40  380-1050
F10-RTA-UV 0,003-40 200-1100
F10-RTA-UVX 0,003-150 200-1700
F10-RTA-EXR 0,005-150 380-1700

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.