Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система измерения толщины тонких пленок FILMETRICS F60-C

Производитель: FILMETRICS

Filmetrics F60-C позволяет проводить измерение коэффициента преломления и распределения толщины тонких пленок по поверхности пластин. Данная система полностью автоматизирована и прекрасно подходит для использования в производственных линиях. Установка позволяет проводить измерения пластин размером до 300 мм. Анализ измеряемых характеристик проводится в сравнении с эталонным образцом. Система оснащена следующим рядом функций: автоматический поиск канавок, встроенное автоматическое получение основных характеристик, встраиваемые эталоны, измерительный столик с возможностью блокировки движения, промышленный компьютер с предустановленным программным обеспечением, роботизированная подача пластин из кассеты в кассету. Модели с более короткими длинами волн излучения предназначены для измерения более тонких пленок. При увеличении длин волн излучения появляется возможность изучения более толстых, шероховатых и непрозрачных пленок.

В базовую комплектацию входит встроенный предметный столик, спектрометр, блок источника излучения, 4'', 6'' и 200мм эталонные пластины, эталоны толщины покрытий SiO2 на Si, вакуумный насос, запасная лампа (источник излучения), пинцеты. Дополнительно возможно оснащение системы NIST-эталонами.

 

Перечень моделей:

Модель Диапазон толщин, мкм Диапазон длин волн,  нм
F60-C 0,02-70 380-1050
F60-C-UV
0,005-40 200-1100
F60-C-NIR 0,1-250 950-1700
F60-C-EXR 0,02-250 380-1700
F60-C-UVX 0,005-250 200-1700
F60-C-XT 0,2-450 1440-1690
F60-C-XXT 10-1000 1590-1650
F60-C-CTM-NIR 100-2000 950-1700

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.