Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Параметрические анализаторы Agilent Technologies

Параметрический анализатор полупроводниковых приборов B1500A

Параметрический анализатор B1500A компании Agilent позволяет устанавливать до 10 модулей и поддерживает измерения вольт-амперных (IV) и вольт-фарадных (CV) характеристик, быстрые измерения высоковольтных и импульсных характеристик. Интерфейс анализатора основан на Microsoft Windows, программное обеспечение EasyEXPERT компании Agilent реализует интуитивно понятный подход для измерения параметров полупроводниковых устройств. Кроме того, B1500A является превосходным техническим решением для определения параметров ячеек энергонезависимой памяти, включая новейшие измерения нестабильности, вызванной отрицательным смещением и температурой (NBTI) и произвольного телеграфного шума (RTN).

 

Характеристики модулей

Модуль Кол-во занимаемых гнезд Основные характеристики
B1510A HPSMU 2 Выходное напряжение до 200 В, ток до 1 А, разрешение по току 10 фА
B1511A MPSMU 1 Выходное напряжение до 100 В, ток до 100 мА, разрешение по току 10 фА
B1517A HRSMU 1 Выходное напряжение до 100 В, ток до 100 мА, разрешение по току 1 фА
E5288A ASU нет Выходное напряжение до 100 В, ток до 100 мА, разрешение по току 100 аА
B1520A MFCMU 1 От 1 кГц до 5 МГц, смещение до 100 В пост. тока с источником/измерителем
B1525A HV-SPGU 1 Мин. длительность импульса 50 нс, время установления 10 нс, до 40 В для трехуровневого импульса
B1530A WGFMU
1 Мин. длительность импульса 100 нс, 10 В (размах), интервал выборки тока или напряжения 5 нс

 

- HPSMU — модуль источника/измерителя большой мощности

- MPSMU — модуль источника/измерителя средней мощности

- HRSMU — модуль источника/измерителя с высоким разрешением

- ASU — модуль коммутатора и измерителя аттоамперных токов

- MFCMU — модуль многочастотного измерителя емкости

- HV-SPGU — модуль высоковольтного полупроводникового импульсного генератора

- WGFMU — модуль генератора сигналов и быстродействующего измерителя

 

Анализатор мощных полупроводниковых приборов/характериограф B1505A

Анализатор B1505A – одноблочное решение для определения параметров мощных устройств от суб-пикоамперного диапазона до 10 кВ и 1500 А. Прибор позволяет снимать характеристики современных силовых устройств, включая биполярные транзисторы с изолированным затвором и новые материалы: нитрид галлия (GaN) и карбид кремния (SiC). Конструкция прибора имеет 10 гнезд для установки модулей, позволяя создавать такую конфигурацию B1505A, которая соответствует вашим текущим измерительным потребностям. С помощью выпускаемого компанией Agilent специального набора базовый блок B1500A может быть преобразован в базовый блок B1505A, что позволяет расширить возможности существующих приборов B1500A по измерению напряжения и тока.

 

Характеристики модулей

Измерительный ресурс Модуль/расширитель Кол-во гнезд Основные характеристики
Источник/измеритель высокой мощности (HPSMU) B1510A HPSMU 2 до 200 В/1 А, разрешение по току 10 фА
Источник/измеритель средней мощности (MPSMU) B1511A MPSMU 1 до 100 В/100 мА, разрешение по току 10 фА
Источник/измеритель большой силы тока (HCSMU) B1512A HCSMU 2 до 20 А/20 В в импульсном режиме или до 1 А/40 В по постоянному току
Высоковольтный источник/измеритель (HVSMU) B1513B HVSMU 2 до 1500 В/8 мА или до 3000 В/4 мА в импульсном режиме и по постоянному току
Источник/измеритель средней силы тока (MCSMU) B1514A MCSMU 1 до 1 А/30 В в импульсном режиме или до 100 мА/30 В по постоянному току
Многочастотный измеритель емкости (MFCMU) B1520A MFCMU 1 от 1 кГц до 5 МГц; от 0 В до ±25 В при использовании смещения постоянного напряжения модуля MFCMU;
от 0 В до 3000 В при использовании модуля MFCMU и тройника смещения высокого напряжения
 
Модуль высокого напряжения и среднего тока (HVMCU) Расширитель диапазона тока M1266A HVSMU, модуль B1513B HVSMU и два модуля B1514A MCSMU/B1512A HCSMU 4 - 6 до 1500 В/2,5 А в импульсном режиме или до ±2200 В/1,1 А по постоянному току
Модуль сверхвысоких значений тока (UHCU) Расширитель N1265A и два модуля B1514A MCSMU/B1512A HCSMU 2 - 3 до 1500 А/60 В в импульсном режиме или до 22,5 кВт пиковой мощности
до ±500 А/60 В в импульсном режиме или до 7,5 кВт пиковой мощности
 
Модуль сверхвысоких значений напряжения (UHVU) Расширитель N1268A и два модуля B1514A MCSMU или комбинация модулей B1512A HCSMU и B1514A MCSMU 2 - 3 до 10 кВ/10 мА по постоянному току или до 10 кВ/20 мА в импульсном режиме