Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка проверки качества соединения пластин Advanced Vacuum BONDTESTER

Производитель: Advanced Vacuum

С тех пор как операция соединения пластин (бондинга) стала неотъемлемой частью многих современных технологических процессов (например, при производстве МЭМС), возникла и необходимость контроля качества этих соединений. Установка BONDTESTER компании Advanced Vacuum позволяет проверять качество наклеивания пластин на носитель и соединения пластин друг с другом перед тем, как они будут использованы в таких важных технологических операциях, как травление или осаждение. Эта недорогая автономная установка позволяет избегать в процессе производства использование пластин с дефектами соединений, что значительно оптимизирует сложные технологические этапы.

Установка BONDTESTER оснащена встроенным насосом, при этом имеет небольшие габариты и легко перемещается при помощи колес. Установка просто монтируется, имеет интуитивно понятный интерфейс и полностью автоматический цикл работы. Все это делает установку мобильной и позволяет легко встраивать её в производственную линию.

 

Технические характеристики:

- Загрузка одной пластины или кассеты (до 12”)

- Встроенный насос

- Стационарное или мобильное исполнение

- Быстрая откачка до предельного давления (1х10-6 мБар)

- Большое смотровое окно

- Сборка из OEM-компонентов позволяет легко и быстро находить запчасти

- Автоматическое проведение процесса по запрограммированной схеме (возможность регулировки давления в течение цикла)

- История ошибок, несколько уровней доступа к программе управления

- Отображение данных о процессе в реальном времени

Производитель
Компания Advanced Vacuum была основана в Швеции в 1993 году. Основной деятельностью компании было проведение сервисных работ: обслуживание и ремонт вакуумного оборудования. Основной специализацией компании были установки плазмохимического травления и осаждения. Со временем, компания Advanced Vacuum стала представителем на территории Скандинавии крупнейших производителей комплектующих, таких как BOC Edwards и других.