Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Высоковакуумная двузонная установка герметизации Unitemp GMBH 2Z-HVS-100

Производитель: Unitemp GMBH

Двухзонная высоковакуумная установка герметизации МЭМС структур 2Z-HVS-100 является отличным инструментом для мелко- и среднесерийного производства. Установка позволяет производить корпусирование в условиях высокого вакуума (до 10-6 мбар) с подачей инертного газа в рабочиую камеру. Электронные компоненты могут быть предварительно обработаны перед герметизацией благодаря двум зонам нагрева при температурах до 450 °С в каждой зоне, эта же особенность позволяет производить активацию геттера. Одновременно в установке может осуществляться герметизация до 6 устройств (возможно разместить до 6 адаптеров по 16 мм в даиметре). 

Скорость нагрева в вакууме достигает 35 К/мин, управление нагревом, как и всей установкой, осуществляется с помощью встроенного PID-контроллера, в памяти которого может храниться до 20 программ, по 100 этапов в каждой программе. Интерфейс USB позволяет сохранять на внешний носитель дополнительные программы, а также скачивать данные процессов в форматах csv и xls для последующего их анализа. 

Ключевой особенностью является автоматическое позиционирование частей корпуса и их соединение, поскольку соединяемые части должны иметь одинаковую температуру. Управление скоростями нагрева и охлаждения для выравнивания температур соединяемых частей - задача, которая была успешно решена инженерами компании UniTemp при разработке данной установки. Стеклянная рабочая камера и отсутсвие стенок позволяют визуально контролировать процесс. Компактные размеры установки и небольшой вес делают эту систему идеально подходящей для использования в лабораториях и чистых производсвтенных помещениях небольшой площади. Также установку можно интегрировать в производственную линию с автоматической загрузкой/выгрузкой изделий. 

Технические характеристики:

Зона нагрева 2 зоны, каждая по 100 мм
Процессная камера Выполнена из боросиликатного стекла (прозрачная)
Высота камеры 100 мм
Температурный диапазон Нижний нагреватель: до 450°С
Верхний нагреватель: до 200°С
Скорость роста температуры в вакууме 35 К/мин
Скорость понижения температуры в вакууме 25 К/мин
Уровень вакуума 10-6 мбар
Контроллер HVS-2604
Габаритные размеры 200х500х470 мм
Вес 24 кг (без насоса)
Напряжение 230В
Частота 50-60 Гц
Ток Макс. 16А
Потребляемая мощность 3,2 кВт
Водяное охлаждение Принудительное, через внешний чиллер

 

Производитель

Компания UniTemp GmbH основана в Германии в августе 2000 г. UniTemp работает в сфере разработки и производства оборудования для термических процессов в микроэлектронике. Одним из основных на правлений развития компании является создание систем быстрого высокотемпературного вжигания с высокими показателями скорости температуры нагревания и охлаждения.