Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Вакуумная печь для оплавления припоя UniTemp RSO - 200 - HV

Производитель: Unitemp GMBH

Печь RSO-200 предназначена для температурной обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм и подложек прямоугольной и иных форм размером 200х170 мм как в процессе различных исследований, так и в мелкосерийном производстве. Печь стандартно оснащена камерой из кварцевого стекла, графитовой плитой и универсальным держателем из кварцевого стекла.  Нагревательный элемент печи представляет собой массив ИК-ламп суммарной мощностью 9 кВт, что обеспечивает быстрый (10 К/сек) и контролируемый нагрев до 650 °С. Массив ламп располагается под плитой-держателем и полностью защищён от воздействий продуктов процесса.  Печь стандартно оснащена одной линией подачи технологического газа (азота) с цифровым регулятором расхода. Данное решение обосновано тем, что большая часть процессов пайки требует наличия инертной атмосферы в рабочей камере. Опционально возможно оснастить печь дополнительными газовыми линиями, например, для подачи кислорода и/или форминг газа. Вакуумная система печи позволяет достигать уровня вакуума до 10-6 мбар за счёт использования внешней откачной системы.

Нагрев осуществляется при помощи ИК-ламп, расположенных как сверху, так и снизу заготовки. Максимальная температура нагрева до 650 °С. При подключении внешнего вакуумного насоса, возможно достичь уровень вакуума до 10-6 мбар. Управление печью, как и другими печами UniTemp, осуществляется с помощью встроенного контроллера SIMATIC© с сенсорным экраном и USB портом для подключения внешнего накопителя. Программное обеспечение UniSOFT позволяет гибко настраивать и контролировать в режиме реального времени процесс обработки, создавать и сохранять рецепты (до 50 рецептов по 50 этапов каждый можно сохранить в памяти контроллера), вести сбор данных для последующего анализа степени влияния тех или иных параметров на результат с возможностью выгрузки в формате таблицы Excel. 

Области применения:

  • Процессы бесфлюсовой пайки;
  • Операции в средах азота, ксилорода, водорода, форминг газа или муравьиной кислоты;
  • Оплавление свинцовых и бессвинцовых припоев;
  • Пайка высокотемпературной или гибридной керамики;
  • Пайка выводных элементов;
  • Пайка светодиодов.

Технические характеристики:

Макс. температура 650 °С
Рабочая зона 200×170×40 мм
Уровень вакуума До 10-6 мбар
Нагрев 12 ИК ламп (9 кВт)
Охлаждение

С 600 °С до 400 °С - до 200 К/мин

С 400 °С до 100 °С - до 30 К/мин

Управление Встроенный контроллер с сенсорным дисплеем
Охлаждение Принудительное водяное
Размеры 505 х 504 х 580 мм
Вес 65 кг
Эл. питание 380 В, 21 кВт

 

Производитель

Компания UniTemp GmbH основана в Германии в августе 2000 г. UniTemp работает в сфере разработки и производства оборудования для термических процессов в микроэлектронике. Одним из основных на правлений развития компании является создание систем быстрого высокотемпературного вжигания с высокими показателями скорости температуры нагревания и охлаждения.