Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка точечного измерения толщины пластин FILMETRICS F20

Производитель: FILMETRICS

Установка предназначена для определения толщины пластины безконтактным точечным методом в режиме штучной ручной обработки пластин. Установка прекрасно подходит для измерения толщины Si, GaAs, SiC пластин и сходных материалов (SiO2, SiNx фоторезист, поликристаллический кремний, слои полимерных материалов, аморфный кремний, полиимид и т.д.)

 

Технические характеристики:

Характеристика Значение параметра
1 Размеры обрабатываемых пластин 1-300 мм
2 Спектральный рабочий диапазон 380 – 1050 мм
3 Измеряемая толщина 15 нм – 100 мкм
4 Точность определения толщины 0,4 % или 2 нм
5 Воспроизводимость (стандартная девиация при 100 измерениях пленки SiO2 на Si толщиной 500 нм, проводимых в течение 20 дней) 0,1 нм
6 Стабильность результата (с.к.о. на 2 сигма при 100 измерениях пленки SiO2 на Si толщиной 500 нм, проводимых в течение 20 дней) 0,07 нм
7 Размер пятна, не более 1,5 мм
8 Детектор 1-элементный (точечный)
9 Источник света Галогенный с вольфрамовой нитью
10 Габариты ~ 50 х 50 х 40 см
11 Вес ~ 20 кг
12 Требования к подключению Электропитание: 100-240 VAC, 50-60 Гц, 0,3-0,1 А
13 Персональный компьютер В комплект не входит. Требуется для работы ПК на базе ОС Windows XP SP2+/Windows 7, 64 битная (не поддерживается NT), место на ЖД не менее 60 Мб, не менее 50 Мб ОЗУ, Свободный порт USB, Интернет соединение (для поддержки онлайн)

 

Доступные комплектации установок:

Модель Диапазон измеряемых толщин Диапазон длин волн
F20 15 нм – 100 мкм 380-1050 нм
F20-UV 1 нм – 40 мкм 200-1100 нм
F20-NIR 100 нм-250 мкм 950-1700 нм
F20-EXR 15 нм – 250 мкм 380-1700 нм
F20-UVX 1 нм – 250 мкм 200-1700 нм
F20-XT 0,2 мкм-450 мкм 1440-1690 нм
F20-XXT 10 мкм – 1 мм 1590-1650 нм
F70 15 нм -13 мм* 380-1050 нм

*) несколько фиксированных диапазонов измерений

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.