Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система атомно-слоевого осаждения TFS 600 для промышленной инкапсуляции OLED

Производитель: Beneq

Установка TFS 600 компании Beneq является встраиваемой в производственную линию системой атомно-слоевого осаждения (ALD), предназначенной для инкапсуляции органических светоизлучающих диодов (OLED). Система обеспечивает превосходное качество тонкопленочных покрытий, высокую производительность и надежность. Установка TFS 600 имеет оптимизированную конструкцию реакционной камеры, модульную конструкцию, испытанные компоненты управления и эксплуатации, а также встроенную систему безопасности. Установка обеспечивает полностью автоматизированную загрузку материала.

Устройство установки позволяет использовать её в чистых комнатах. Все компоненты расположены в вентилируемых областях, обеспечивающих безопасность при эксплуатации. Установка TFS 600 имеет эргономичный дизайн, повышающий эффективность операций загрузки подложек и замены прекурсора, и значительно облегчающий доступ к вакуумной камере при её обслуживании. Система управления легко интегрируется в линию и совместима с GEM/SECS оборудованием.

 

Технические характеристики:

Температура процесса  25 - 150 °C, номинальная температура 90 °C
Реакционная камера (Д × Ш × В)  420 × 600 × 1165 мм
Подложка  размер 500 × 400 мм максимальное количество 35 штук (номинал)
Источники жидких реагентов (от комнатной температуры до 90°C)  до 5-ти (может варьироваться)
Система управления  PLC контроллер с пользовательским интерфейсом (совместимость с GEM/SECS)
Основные размеры, ALD система (Д х Ш х В)  2000 × 1200 × 2940 (мм) (может варьироваться)
Основные размеры, передатчик прекурсора (Д х Ш)  2200 × 450 (может варьироваться)

 

Производитель
Компания Beneq является производителем оборудования с применением технологии атомно-слоевого осаждения и аэрозольной технологии. С момента основания в 2005 году Beneq прошла инновационный путь от проектной компании до одного из ведущих поставщиков тонкопленочного оборудования и электролюминесцентных дисплеев. Так, уже в 2010 году Beneq получает награду Nanotech Finland Award (Нанотехнологии Финляндии) за лучший потенциал в бизнесе в области экологически чистых технологий. Бизнес-стратегия Beneq заключается в определении потребностей заказчика, ясного понимания задачи и разработки ее решения, для чего созданы разные варианты тонкопленочного оборудования.