Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Электронная система измерения толщины Logitech CG-10

Производитель: Logitech LTD

Компактная прецизионная измерительная система Logitech CG-10 подходит для линейных измерений и обеспечивает высокую степень точности в широком диапазоне толщин.

Система проста в использовании, обеспечивает точность измерений до 1 мкм в диапазоне измерений 10 мм. При использовании в диапазоне от 1 мм, например в качестве сравнительного устройства в сочетании с эталонной мерой длины, достигается высочайшая повторяемость процесса и достигается точность измерений порядка 0,1 мкм. Высокая точность в сочетании с низкой силой прижима измерительной головки (0.6-0.9 Н) делают систему идеальной для измерений таких материалов, как полупроводники, оптические и оптоэлектронные материалы.

Система включает в себя измерительную головку, гранитное основание, подъемный механизм и блок обработки данных с дисплеем, на котором отображаются измерения.

Измерительная головка снабжена педальным управлением, которое используется для приведения прибора в нулевое положение, а также ручным механизмом отвода/подвода. Для специальных применений, например, при работе с хрупкими материалами, измерительная головка может быть оснащена резиновым наконечником.

Электронный модуль обработки и представления данных обрабатывает сигнал с измерительной головки и выводит данные о положении кончика измерительной головки относительно нулевой или заданной отметки с разрешением вплоть до 0.1 мкм.

 

Технические характеристики:

 

Диапазон линейных измерений 10 мм
Точность измерений 1 мкм
Повторяемость 0,1 мкм
Сила прижима 0.6-0.9 Н
Дрейф нуля 0.1 мкм/ºС
Размер основания 280x160 мм
Регулировка по вертикали 150 мм
Разрешение 0.001 мм
Электропитание 220В / 50Гц или 110В/ 50-60Гц
Габариты (ШxГxВ) 280x160x250 мм

 

Производитель

Компания Logitech Ltd основана в 1965 году и в настоящее время является общепризнанным экспертом в технологиях обработки полупроводниковых материалов и финишной обработки поверхностей.