Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Интерферометр Физо Logitech LI10

Производитель: Logitech LTD

Интерферометр Физо Logitech LI10 является идеальным инструментом для широкого спектра задач по измерению гладкости отполированных образцов размером до 102 мм (4") в диаметре. Устройство подходит для использования как в производстве оптических компонентов, так и в R&D лабораториях. Интерферометр Физо LI10 идеально подходит для контроля оптических плоскостей и измерения плоскостности широкого спектра оптических компонентов. Установка может быть использована для измерения плоскостности полированных полупроводниковых или оптических материалов, для которых качество поверхности играет важную роль при последующей обработке.

Интерферометр дает возможность быстро и точно проводить оптические измерения плоскости полированных поверхностей, и позволяет работать с образцами диаметром от 1" до 4". Устройство оснащено специальной системой позиционирования измеряемых образцов, с помощью которой можно регулировать положение с высокой точностью. Интерферометр может быть оснащен вакуумным захватом, позволяющим быстро и точно устанавливать образец. Данное дополнение полезно в тех случаях, когда проводятся измерения хрупких полупроводниковых пластин. Для настройки четкости изображения образец устанавливается параллельно оптическому эталону, а для получения интерферограммы используется наклонная пластина.

Интерферометр представляет собой ручное устройство визуального вывода. Полученную интерферограмму можно наблюдать через широкоугольный окуляр (в стандартной комплектации) или бинокулярное устройство наблюдения (используется для длительных наблюдений), которые располагаются на передней панели устройства.

 

Технические характеристики:

 

Максимальный размер образца 102 мм (4")
Шаг интерференционных полос 0,316 мкм
Эталонная пластина Плоскостность λ/10
Электропитание 240В/110В, 50Гц
Габариты (ШxГxВ) 215x320x315 мм
Вес 7,6 кг

 

Производитель

Компания Logitech Ltd основана в 1965 году и в настоящее время является общепризнанным экспертом в технологиях обработки полупроводниковых материалов и финишной обработки поверхностей.