Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система бесконтактного измерения толщины Logitech NCG-2

Производитель: Logitech LTD

Система NCG-2 компании Logitech представляет собой компактный и высокочувствительный инструмент, позволяющий проводить высокоточные линейные измерения хрупких или мягких материалов, а также материалов, прошедших тщательную полировку поверхности.

Рабочая часть системы представляет собой бесконтактную пневматическую измерительную головку, состоящую из LVDT-датчика и пневматического серводвигателя. Данное техническое оснащение позволяет поддерживать постоянный воздушный зазор между измерительной головкой и поверхностью, благодаря чему головка не касается поверхности образца. После формирования сигнала и калибровки индикатор показывает смещение головки (эквивалентно рельефу поверхности, высоте ступенек или толщине материала) в микронах.

Система подачи воздуха оснащена воздушным фильтром, обеспечивающим очистку воздуха. Возможно оснащение системой предварительной фильтрации и сушки воздуха. Воздушный поток подается под давлением 2 бар, расход составляет 5,66 л/мин. и регулируется с помощью манометра.

Система имеет прочное основание, обеспечивающее вертикальную поддержку для измерительной головки и гранитной рабочей поверхности. Конструкция позволяет прецизионно регулировать положение измерительной головки над поверхностью измеряемого образца, вплоть до 20 мкм. Подъемный механизм измерительной головки имеет простое ручное управление и позволяет быстро и легко проводить измерения. Все измерительные и управляющие узлы расположены в едином корпусе и имеют легкий доступ для обслуживания.

Инструмент прекрасно подходит как для исследовательских, так и для производственных целей в таких областях, как полупроводники, оптика и оптоэлектроника, где требуется измерение ультратонких полупроводниковых пластин, мягких органических кристаллов или высококачественных оптических структур.

 

 

Технические характеристики:

 

Диапазон измерений ±1,25 мм
Подача воздуха Чистый сжатый воздух или другой инертный газ, 2 бар (потребление 5,66 л/мин.)
Разрешение дисплея 0.1 мкм
Разрешение измерительной головки 2.5 мкм
Отклонение от линейности 0.25%
Цифровой дисплей Семисегментный индикатор, единицы измерения - мкм
Воздушный зазор ~75 мкм
Установка на ноль В диапазоне ±20% от общего диапазона, в расчете от отметки механического нуля
Электропитание 220В или 110В
Вес 15 кг
Габариты (ШxГxВ) 250x190x186 мм (электронный модуль)
280x160x40 мм (измерительный стенд)

 

Производитель

Компания Logitech Ltd основана в 1965 году и в настоящее время является общепризнанным экспертом в технологиях обработки полупроводниковых материалов и финишной обработки поверхностей.