Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система автоматического нанесения, сушки и проявления фоторезиста Amcoss AMC 2500

Производитель: Amcoss

Система AMC 2500 предназначена для автоматического нанесения, сушки и проявления фоторезиста. Выполненная в едином компактном корпусе, она позволяет максимально эффективно использовать пространство чистых помещений. Кроме этого AMC 2500 обладает рядом других уникальных особенностей:

- Адаптивная система распознавания пластин в кассете. Лазерные датчики, определяющие положение каждой пластины, ее толщину и изгиб. Система позволяет работать даже с ультратонкими пластинами.

- Бесконтактная система центрирования пластины «на лету» позволяет обойтись без дополнительных механических зажимов. Центрирование происходит в процессе переноса пластины. Положение подложки на манипуляторе определяется оптически перед загрузкой на держатель.

- Позиционирование с помощью сервоприводов (используется для толстых слоев или развитой топологии поверхности) позволяет достичь великолепной воспроизводимости процесса от пластины к пластине и от партии к партии. Положение робота и сопла в пространстве (XYZ) задается с прецизионной точностью. Скорость и траектория движения сопла задается с помощью ПО.

- Наличие библиотеки готовых рецептов, а также возможность создание своих собственных.

- Современный интуитивно понятный и удобный интерфейс.

- Возможность работы со всеми видами подложек. В соответствии с требованиями заказчика система может быть сконфигурирована под стандартные, толстые, тонкие и даже ультратонкие подложки. Также она может одновременно работать с пластинами и квадратными стеклами для фотошаблонов.

- Последовательность операций автоматически задается с помощью программного обеспечения. Новые рецепты можно создавать в процессе работы машины или же создавать на ПК и загружать через локальную сеть и при помощи USB интерфейса.


Система состоит из набора функциональных модулей:

- Модуль нанесения методом центрифугирования может включать в себя до 6 различных систем нанесения фоторезиста на одну чашу с возможностью автоматической смены форсунок. Нанесение производится спрей-методом или с помощью форсунок. Максимальная скорость вращения центрифуги составляет 13000 об./мин. Модуль нанесения может быть оснащен системой очистки от фоторезиста задней стороны пластины и чаши, а также системой EBR, которая позволяет снимать фоторезист только с выбранного участка пластины.

- Модуль проявления может включать в себя до 6 проявителей на одну чашу с автоматической сменой сопла. Модуль позволяет проводить проявление в различных режимах: режим точного дозирования проявителя, режим проявления спрей-методом, режим мегазвукового проявления. Модуль проявления может быть оснащен системой очистки от фоторезиста задней стороны пластины и чаши.

- Нагревательные/охлаждающие плиты. Один модуль вмещает в себя до 6 нагревательных/охлаждающих плит. Нагревательная плита позволяет поддерживать температуру в пределах 60-450ºC и может иметь одну или несколько зон нагрева. Работа охлаждающей плиты осуществляется за счет водяного охлаждения или элемента Пельтье. Также модуль позволяет осуществлять сушку пластин в парах ГМДС.

 

Технические характеристики:

 

Занимаемая площадь 2,5 м2
Тонкие подложки 6", 80 мкм, выпуклые/вогнутые
8", 150 мкм, выпуклые/вогнутые
Толстые подложки 6", 15 мм, вес до 0.75 кг
Размер/форма подложек Круглые 2"-12"
Квадратные, прямоугольные, до 8"x8"
4 станции ввода/вывода 4 открытые кассеты или 4 контейнера FOUP
Манипуляция пластинами 2 двухзвенных манипулятора
6 процессных модулей 1 чаша+ 5 нагревательных/охлаждающих плит
2 чаши+ 4 нагревательные/охлаждающие плиты
3 чаши+ 3 нагревательные/охлаждающие плиты
4 чаши+ 2 нагревательные/охлаждающие плиты
6 нагревательных/охлаждающих плит
Программное обеспечение Многоуровневый доступ пользователей
Резервное копирование данных Буферизация данных при отключении системы SECS/GEM

 

Производитель
Компания Amcoss основана в 2008 году в городе Фельдкирх, Австрия. Компания является производителем высокоточных оптических и механических систем для микросистемной техники и полупроводникового производства, например, для таких технологических операций, как литография, измерения, сухое травление, осаждение, ионная имплантация и других. Основным направлением деятельности компании на данный момент является разработка систем для автоматизации оптических методов литографии. Отличительной особенностью продукции компании Amcoss является гибкость конфигурации, что позволяет создавать оборудование, идеально подходящее для конкретных целей заказчика.