Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система измерения плоскостности Logitech GI20

Производитель: Logitech LTD

Система измерения плоскостности Logitech GI20 представляет собой интерферометр скользящего падения, обеспечивающий прецизионное измерение плоскостности шлифованных и полированных пластин диаметром до 150 мм (6"). Система используется для измерения плоскостности полупроводниковых пластин, оптических компонентов, а также геологических образцов. В отличие от традиционных интерферометров Физо, данная система позволяет проводить измерения неотражающих поверхностей и идеально подходит для анализа образцов, прошедших операции шлифовки и/или полировки.

При использовании стандартного интерферометра Физо в зависимости от используемой длины волны расстояние между интерференционными полосами составляет около 0.3 мкм. Малое расстояние между полосами накладывает ограничения и значительно усложняет анализ плоскостности сильноотражающих материалов. Интерферометр Logitech GI20 решает эту проблему путем отражения лазерного света при скользящем угле падения у поверхности образца. Направление луча под углом обеспечивает отображение интерференционных полос образцов как с отражающей, так и с неотражающей поверхностью.

Интерферограмма выводится прямо в процессе проведения измерений на 7" TFT –экран. Система имеет высокий уровень контраста даже при измерении полированных образцов с шероховатостью поверхности Ra до 300 нм. Оценку интерференционной картины можно проводить как непосредственно на экране, так и выгружая захваченное изображение с помощью USB интерфейса.

 

Технические характеристики:

 

Максимальный размер подложек Ø 150 мм (6")
Шероховатость поверхности (Ra) От 1 до 300 нм
Расстояние между интерференционными полосами 2 мкм
Электропитание 240В/110В, 50 Гц
Габариты (ШxГxВ) 430x602x260 мм
Вес 24 кг

 

Производитель

Компания Logitech Ltd основана в 1965 году и в настоящее время является общепризнанным экспертом в технологиях обработки полупроводниковых материалов и финишной обработки поверхностей.