Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Автоматизированные зондовые станции 200мм

Автоматизированная зондовая станция Micromanipulator P200A

 

Зондовая станция P200A предназначена для тестирования устройств на пластине на постоянном токе, снятия ВАХ и составления карты пластины.

Стабильная и легкая в управлении P200A представляет собой наиболее эффективное решение для аналитического тестирования полупроводниковых устройств на пластинах до 200 мм. Станция позволяет проводить измерения малых токов и имеет субмикронную точность позиционирования.

Управление станцией осуществляется с помощью специализированного программного обеспечения netProbeTM, разработанного компанией Micromanipulator. Программное обеспечение включает графическую среду Navigator, Wafer Map и Memory, а также функцию распознавания образца Pattern Recognition:

- Среда Navigator обеспечивает полный интерактивный контроль перемещений столешницы, микроскопа, столика, в том числе и по оси поворота.

- Среда Wafer Map позволяет построить карту пластины, с помощью которой достигается высокая точность пошагового перемещения от чипа к чипу и повторяемость контакта.

- Среда Memory позволяет сохранять координаты контактных площадок в памяти и увеличить тем самым скорость последующих измерений.

- Функция распознавания образца (Pattern Recognition) позволяет выравнивать систему по заданному объекту на пластине после каждого запрограммированного перемещения.

Конфигурация станции включает джойстик управления, обеспечивающий быстрые и точные перемещения микроскопа, столешницы и рабочего столика, когда программирование не требуется. Кроме того, в стандартную комплектацию входит встроенная камера экранирования, защищающая тестируемое устройство от воздействия влаги, света и электромагнитного излучения.

 

Основные технические характеристики

- Разрешение перемещения основания рабочего столика и столешницы по осям XY: 0,1 мкм

- Разрешение перемещения микроскопа по осям XY: 0,5 мкм

- Возможность установки рабочего столика для пластин до 300 мм

- Диапазон поддерживаемых температур: от -55 до 300°С

- Интерфейс: USB (GPIB опционально)

- Диапазон перемещения рабочего столика по осям XY: 200х200 мм

- Диапазон перемещения столешницы по оси Z: 37 мм

- Диапазон перемещения микроскопа по осям XYZ: 100х100х200 мм

- Поддержка зондовых карт

- Столешница из нержавеющей стали, поддержка манипуляторов с вакуумным и магнитным креплением

- Возможность использования камеры электромагнитного экранирования и защиты от внешнего освещения

 


Автоматизированная зондовая станция Micromanipulator P200L

 

Зондовая станция Micromanipulator P200L, также как и модель P200A, предназначена для проведения измерений с субмикронной точностью позиционирования. Станция оснащена приводами, столешницей из нержавеющей стали и стабильным мостом, поддерживающим установку различных микроскопов с высоким разрешением и длинной рабочей дистанцией.

Контроллер управления станций имеет интерфейсы USB, GPIB, RS-232 и TCP/IP. Модель P200L оснащена приводами рабочего столика по осям XY и столешницы по оси Z, таким образом, перемещения могут быть запрограммированы. Опция программируемого перемещения микроскопа не входит в стандартную комплектацию и доступна по дополнительному заказу. Управление станцией может осуществляться с помощью командного файла, созданного пользователем в среде Labview.

Конфигурация станции включает джойстик управления, обеспечивающий быстрые и точные перемещения столешницы и рабочего столика (и микроскопа, с соответствующей опцией), когда программирование не требуется.

Станция не может быть оснащена рабочим столиком для пластин до 300 мм. Кроме того, стандартная конфигурация не включает встроенного антивибрационного стола и сенсорной панели управления. Для модели P200L доступна опциональная установка камеры экранирования, защищающая тестируемое устройство от воздействия влаги, света и электромагнитного излучения. Кроме того, доступна специализированная камера, позволяющая проводить измерения низких уровней токов и напряжений, а также точно поддерживать температуру.

 

Основные технические характеристики

- Перемещение рабочего столика по XY

   Плоскостность: ± 12,5 мкм

   Точность: ± 5 мкм

   Разрешение по осям XY: 0,5 мкм

   Диапазон перемещений по осям XY: 203 х 203 мм

   Максимальная скорость перемещения по осям XY: 19 мм/с

   Контроль перемещения: джойстик

   Диапазон перемещения по поворотной оси (theta): 15°

- Рабочий столик

   Размер пластин: до 200 мм

   Поддержка температурного столика: да, опционально

- Микроскоп

   Тип поддерживаемых микроскопов: от стереомикроскопов до сложных биологических

   Диапазон перемещений по осям XY: 100 х 100 мм

   Разрешение по осям XY: 1 мкм

   Тип управления: ручной

   Быстрый подъем микроскопа: опционально

   Диапазон грубого перемещения: 32 мм

   Диапазон перемещений по оси Z: ± 25 мм

   Разрешение перемещения по оси Z: 1 мкм

- Столешница

   Диапазон перемещений по оси Z: 25 мм

   Управление перемещением: Джойстик/программируемое

   Повторяемость: ± 1 мкм

   Быстрый подъем: ручной

   Диапазон быстрого подъема: 25 мм

   Точный подъем, разрешение: 1 мкм

   Количество поддерживаемых манипуляторов: до 10

   Поддержка зондовых карт: да, с опциональным держателем

- Габаритные размеры и требования

   ШхГхВ: 725 х 680 х 550 мм

   Вес: 115 кг

   Вакуум: требуется для рабочего столика

   Сжатый воздух: требуется для стола