Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Зондодержатели и зонды

Зондодержатели для измерений на постоянном токе (DC измерения)

Модель 44, зондодержатели с фиксированной иглой

Зондодержатель модели 44 имеет фиксированную зондовую иглу и предназначен для проведения измерений на высоких частотах, а также для измерений слабых сигналов. Диапазон рабочих частот от постоянного тока до 3 ГГц, делает этот бюджетный зондодержатель идеальным для наиболее распространённых видов ВЧ измерений. Экранирование проходит от места подключения кабеля, через медный корпус с золотым покрытием до вольфрамовой иглы. Доступны конфигурации с одной (сигнал) и двумя (сигнал и земля) иглами. Соединение может быть выполнено в качестве миниатюрного разъёма UMC или стандартного коаксиального разъёма SMA, расположенного на верхней стороне зондодержателя. Версии держателя с кельвиновским соединением доступны как в конфигурации с одной иглой, так и с двумя иглами. В нижней части зондодержателя имеется небольшое отверстие, предназначенное для установки чип-резистора (способом поверхностного монтажа последовательно или параллельно) в качестве аттенюатора или нагрузки. Данная модель зондодержателя может быть выполнена под специфические требования заказчика и имеет различные варианты исполнения. Кабели не входят в комплект и на них необходимо оформить отдельный заказ.

Модель 72

Зондодержатель модели 72 обладает низким сопротивлением и имеет гибкую штангу, которую можно сгибать и придавать любую требуемую форму. Номинальное сопротивление между кончиком зондовой иглы и точкой подсоединения кабеля составляет от 0,1 до 0,2 Ом. Можно выбрать длину штанги зондодержателя в диапазоне от 1,5 дюймов (38,1 мм) до 4,0 дюймов (101,6 мм) (шаг допустимых значений указываемой длины составляет 1/4 дюйма (6,35 мм)). Зондовая игла может крепиться при помощи втулки с отверстием или при помощи стопорного винта. Крепление при помощи втулки с отверстием доступно только с расположением зондовой иглы под углом 45° по отношению к штанге зондодержателя. Модель 72 подходит для работы со всеми сменными зондовыми иглами серии 7.

Модель 75 и 75 FPC

Зондодержатель модели 75 предназначен для общего назначения и имеет одиночный неэкранированный проводник. Доступны варианты для зондовых станций серии 4000 и 8000. Версии FPC зондодержателя предназначены для использования совместно с зондовыми картами с фиксированным положением. Зондовой игла крепится иглу под углом 45° с помощью втулки с отверстием (позволяет быстро заменять зондовые иглы) или с помощью стопорного винта (зондовая игла плотно прижимается к позолоченным контактам, обеспечивая соединение с низким сопротивлением от 0,1 до 0,2 Ом). Модель 75 зондодержателя подходит для закрепления всех сменных игл серии 7. Благодаря своей прочности, данный зондодержатель с установленными иглами повышенный жесткости (7B, 7D или 7G) можно использовать для резки или скрайбирования.

Модель 75-80, зондодержатель с большим наклоном зондовой иглы

У большинства зондодержателей угол наклона зондовой иглы относительно горизонтальной оси составляет 45° или 60°, однако, компания Micromanipulator изготавливает зондодержатели с наклоном зондовых игл, равным 0° или 80°. Зондодержатели модели 75-80 предназначены для проведения высокотемпературных и общих измерений, при которых тепловое расширение или вибрация могут повлиять на результаты. Данные зондодержатели предпочтительно использовать со специализированными упругими зондовыми иглами, такими как модель 7F, 7F-10, 7F-C10 и 7S. Из-за большого угла наклона (80°) кончик зондовой иглы должен находиться на расстоянии около 9,5 мм (3/8 дюйма) ниже зондодержателя. Поэтому составные объективы микроскопов с рабочим расстоянием менее 12,5 мм могут оказаться непригодными для таких измерений.

Модель 77A

Данная модель идеальна в качестве зондодержателя общего назначения для зондовых станций серии 6000. Доступны варианты с углом наклона зондовой иглы 30° или 60°. Быстрая замена зондовой иглы возможна благодаря использованию пружинно-прижимного механизма. Данная модель зондодержателя подходит для использования со всеми сменными иглами серии 7.

Модель 78

Данный зондодержатель изготовлен из стеклопластика на основе эпоксидной смолы для изоляции зондовой иглы (серия 7). Зондовая игла удерживается с помощью пружины и скользящего прижимного кольца из изолирующего материала. При проведении высокочастотных измерений и измерений с малой ёмкостью активный зонд должен быть соединен непосредственно к самой игле. Иглу можно обрезать и удалить любую неиспользуемую часть и тем самым снизить ёмкость. Номинальная собственная электрическая ёмкость зондовой иглы серии 7 равняется 0,25 пФ. Рекомендуемые зондовые иглы: 7A, 7F, 7H и 7X.

Серия 79

Зондодержатель серии 79 имеет множество различных конфигураций и является самой популярной моделью компании Micromanipulator. Можно выбрать коаксиальный, триаксиальный или кельвиновский вариант исполнения. Крепление зондовой иглы может осуществляться со стандартным углом наклона или с углом по выбору заказчика. Кроме того, серия 79 может быть выполнена для использования в сочетании с зондовой картой с фиксированным положением, для использования при стандартной или высокой температуре. Данные зондодержатели подходят для работы с любыми зондовыми иглами модели 7.

Модель 79, коаксиальный зондодержатель для измерений при стандартной температуре

Коаксиальный зондодержатель модели 79 предназначен для проведения измерений на высоких частотах или низкоуровневых сигналов. Внешний проводящий экран заканчивается на расстоянии 5 мм от втулки с отверстием, в которой закреплена зондовая игла. Зондодержатель имеет коаксиального провод экрана, позволяющий подсоединить экран к заземлению недалеко от наконечника иглы. Коаксиальный кабель имеет длину 30 дюймов (76,2 см) и заканчивается разъемом BNC. Кабель имеет тип RG 178B/U с волновым сопротивлением 50 Ом, емкостью 75 пФ, затуханием 0,29 Ом/фут при 400 МГц.

Модель 79-T, триаксиальный зондодержатель

Триаксиальный зондодержатель модели 79-T идеально подходит для измерения малых токов и измерений с низким уровнем шума. Центральный проводник 79-T соединён с зондовой иглой. Внутренний экран имеет плавающий потенциал (не подсоединён). Внешний экран подсоединён к проводу заземления длиной 6 дюймов (15,24 мм), который подключается к тестируемому устройству. Изоляция между центральным проводником и внутренним экраном составляет >5*1012 Ом. Стандартная длина кабеля составляет 30 дюймов (76,2 см), на конце кабеля имеется триаксиальный разъем TRB. Кабель имеет волновое сопротивление 50 Ом, внутреннюю ёмкость 96,4 пФ на метр и внешнюю ёмкость 328 пФ на метр.

Модель 79-(T)D зондодержатели с кельвиновским соединением – коаксиальные и триаксиальные

Зондодержатели модели 79-D (коаксиальный) или 79-TD (триаксиальный) разработаны для сочетания возможностей, которые предоставляет зондодержатель, оснащённый двумя кабельными выводами, с удобством использования одной зондовой иглы. Центральные проводники двух кабелей соединяются в точке закрепления зондовой иглы. Выполнение измерений с кельвиновским соединением с помощью модели 79, предотвращает появление проблем, связанных с неровностью плоскости тестируемого устройства и разной силой контакта/прижима.

Модель 79-0 On-Axis, зоднодержатель без угла наклона зондовой иглы

В зондодержателях модели 79-0 зондовая игла является продолжением центральной оси, такая конструкция подходит для измерений, при которых зондодержатель находится очень низко над тестируемым устройством или когда необходимо расположить большое количество зондовых игл на маленькой площади. После непосредственной подстройки манипулятора зондовую иглу можно руками согнуть до требуемого угла наклона (гнущиеся иглы, такие как 7A-M, 7F-M или 7X-M) или использовать предлагаемые изогнутые зондовые иглы (доступны с углами атаки 45° или 60°). В зондодержателях модели 79-0 для закрепления зондовой иглы используется стопорный винт. Данная конфигурация доступна для всех версий зондодержателя: коаксиальной, триаксиальной, высокотемпературной и с кельвиновским соединением.

Модель 79-FPC

Зондодержатель модели 79-FPC обеспечивает необходимую гибкость при измерениях с использованием отдельных зондов в сочетании с зондовой картой. Крепление зондовой иглы осуществляется с помощью втулки с отверстием или с помощью стопорного винта.

Модель 79-Н, зондодержатель для высокотемпературных измерений

Зондодержатели модели 79-H имеет керамическую изоляцию и применяется совместно с нагреваемым до высокой температуры рабочим столиком и тестируемым устройством. Доступна коаксиальная и триаксиальная конфигурации, соответствующие тем же характеристикам, которые указаны для модели 79. Данный держатель обеспечивает низкие значения токов утечки. Стандартное сопротивление изоляции при 500 В постоянного тока: более 5 ТераОм. Зондодержатели модели 79-H доступны во всех типовых конфигурациях, включая кельвиновское соединение, и подходят для работы со стандартными манипуляторами и зондовыми станциями Micromanipulator.

Зондодержатели для высокочастотных измерений (RF измерения)

Модель PP-7 и PP-7A (DC – 500 МГц, 50 Ом), активный зонд

Зондодержатели модели PP-7 предназначены для использования на одной зондовой станции совместно с зондодержателями моделей 12C и 12B, и применяются в основном для тестирования соседних узлов управляющих интегральных схем. Модели PP-7 и PP-7A имеют одиночный наконечник типа “сигнал (S)” и отличаются отсутствием у PP-7A оконечного разъема. Версия PP-7A может применяться для измерений сопротивления и емкости, а также в других приложениях, где не требуется наличие разъема 50 Ом. Коаксиальные зондовые иглы данных держателей доступны в различных конфигурациях с разным радиусом наконечника. Игле можно придать различную форму вручную, что делает ее универсальным для различных структур. Кроме того, доступны модели PP-7-HT и PP-7A-HT для температурных измерений до 200°С.

Доступные модели:

- PP-7(A), диаметр зондовой иглы 10 – 175 мкм, радиус наконечника иглы 0,2 – 5,0 мкм

Модель PP-12C, с большим сопротивлением

Зондодержатели модели PP-12C имеют большой входной импеданс, является активным зондом и позволяют проводить измерения с высокой скоростью. Данная модель применяется для измерений на внутренних узлах интегральных схем, тестирования высокоскоростных биполярных транзисторов и КМОП структур. Зондодержатель PP-12C выдерживает большие входные напряжения. Кроме того, доступны сменные иглы зондодержателей различной формы.

Характеристики:

- Входная емкость 0,1 пФ

- Входное сопротивление 1 МОм

- Полоса пропускания от постоянного тока до 500 МГц

- Диапазон напряжений от -10 до +20 В

Доступные модели:

- PP-12C, диаметр зондовой иглы 5 - 125 мкм, радиус наконечника иглы 0,1 – 5,0 мкм

Модель PP-18C и PP-19C, активный зонд

Данные модели имеют уникальную конструкцию, подходящую как для передовых МОП и биполярных технологий, так и для особых технологий корпусирования с малой емкостью. Зондодержатели модели PP-18C и PP-19C обладают очень низкой входной емкостью, высоким входным сопротивлением и малыми токами утечки, что позволяет осуществлять тестирование даже самых чувствительных динамических узлов с МОП структурой. Кроме того, высокая скорость и возможность проводить измерения на постоянном токе позволяют полностью характеризовать интегральные схемы. Доступны сменные иглы различной формы.

Характеристики:

- Входная емкость 0,02 пФ

- Входной ток утечки 10 фА

- Полоса пропускания от постоянного тока до 350 МГц

- Диапазон напряжений PP-18C от 0 до +10 В (опционально до +15 В)

- Диапазон напряжений PP-19C от -7 до +3 В (опционально до +8 В)

Доступные модели:

- PP-18C(19C), диаметр зондовой иглы 5 - 50 мкм, радиус наконечника иглы 0,1 - 3 мкм

Модель PP-28 и PP-29, активный зонд

Зондодержатели модели PP-28 и PP-29 предназначены для нужд инженеров, разрабатывающих высокоскоростные интегральные схемы по передовым МОП технологиям и нуждающихся в субмикронном зондировании. Данные зондодержатели сочетают в себе особенности моделей PP-18C и PP-19C, включая измерения на постоянном токе, малые токи утечки и низкую входную емкость, с возможность тестирования в частотном диапазоне до 1 ГГц. Требуют источника питания с напряжением 220 В.

Характеристики:

- Входная емкость 0,04 пФ

- Входной ток утечки 10 фА

- Полоса пропускания от постоянного тока до 1 ГГц (-3 дБ)

- Диапазон напряжений PP-28 от -3 до +10 В

- Диапазон напряжений PP-29 от -7 до +6 В

Доступные модели:

- PP-28(29), диаметр зондовой иглы 5 - 50 мкм, радиус наконечника иглы 0,1 – 3,0 мкм

Модель PP-34A, с большим сопротивлением

Зондодержатель PP-34A соответствует жестким требованиям разработчиков высокочастотных цепей до 3 ГГц. Как и другие активные зонды, данная модель имеет только одну зондовую иглу, что значительно упрощает тестирование внутренних узлов без ущерба производительности. Держатель также может быть выполнен с различным диаметром зондовой иглы и требует подключения специализированного источника питания.

Характеристики:

- Входная емкость 0,1 пФ

- Входное сопротивление 10 МОм

- Полоса пропускания от постоянного тока до 3 ГГц (-3 дБ)

- Диапазон напряжений от -7 до +10 В

Доступные модели:

- PP-34A, диаметр зондовой иглы 5 - 125 мкм, радиус наконечника иглы 0,1 – 5,0 мкм

Модель PP-35, активный зонд с большим сопротивлением

Зондодержатель PP-35 соответствует жестким требованиям разработчиков высокочастотных цепей до 26 ГГц. Как и другие активные зонды, данная модель имеет только одну зондовую иглу, что значительно упрощает тестирование внутренних узлов без ущерба производительности. Держатель PP-35 подключается к внешним измерительным приборам с помощью разъема SMA и к специализированного источнику питания с помощью встроенного кабеля.

Характеристики:

- Входная емкость 0,05 пФ

- Входное сопротивление 1,25 МОм

- Полоса пропускания от постоянного тока до 26 ГГц (-3 дБ)

- Диапазон напряжений от -6 до +6 В

Доступные модели:

- PP-35, диаметр зондовой иглы 5 - 35 мкм, радиус наконечника иглы 0,1 – 2,0 мкм

 

Коаксиальные зондодержатели и зонды для ВЧ/СВЧ измерений

Модель 44RF, диапазон частот DC-3 ГГц, коаксиальный

Для измерений в диапазоне от постоянного тока до 3 ГГц идеально подходит недорогой зондодержатель модели 44RF. Данная модель разработана для тестирования высокочастотных гибридных и интегральных схем. Зондодержатель 44RF предназначен для использования с манипуляторами для быстрого и точного позиционирования зондовых игл на контактных площадках тестируемого устройства. Согласование можно проводить с помощью последовательно соединенных резистивных элементов или параллельно соединённых нагрузочных резисторов, находящихся внутри зондодержателя. В процессе эксплуатации пользователем легко может быть выполнена замена или добавление резистора.

Модель PP-10, коаксиальный

Многофункциональный зондодержатель PP-10 с пассивным зондом позволяет подавать и снимать сигналы с тестируемого устройства. Конфигурация зонда может быть выполнена с одним наконечником типа “сигнал (S)” или двумя наконечниками типа “земля-сигнал (GS)”. Кроме того, доступны две версии модели PP-10 с импедансом 50 Ом: до 3,5 ГГц или до 7 ГГц, в зависимости от длины наконечника. Для тестирования устройств с высоким импедансом можно выбрать наконечники зонда с входным сопротивлением, отличным от 50 Ом: 250 Ом, 500 Ом или 5 кОм.

Характеристики:

- Входной импеданс 50 Ом:

     - длина наконечника 0,120 дюймов, частотный диапазон от постоянного тока до 3,5 ГГц, вносимые потери 3 дБ, обратные потери менее 10 дБ, ослабление 1:1

     - длина наконечника 0,030 дюймов, частотный диапазон от постоянного тока до 7 ГГц, вносимые потери 3 дБ, обратные потери менее 10 дБ, ослабление 1:1

- Входной импеданс 250 Ом, частотный диапазон от постоянного тока до 10 ГГц (-3 дБ), ослабление 5:1

- Входной импеданс 500 Ом, частотный диапазон от постоянного тока до 11 ГГц (-3 дБ), ослабление 10:1

- Входной импеданс 5 кОм, частотный диапазон от постоянного тока до 5 ГГц (-3 дБ), ослабление 100:1

Модели PP-40A, PP-40M, PP-50A, PP-67A и PP-110H, коаксиальный

Данная серия прецизионных зондов предназначена для проведения ВЧ/СВЧ измерений в диапазоне частот до 110 ГГц. Зонды выполнены по уникальной коаксиальной технологии, обеспечивающей малые вносимые и обратные потери.

Доступные конфигурации “земля-сигнал-земля (GSG)”, “земля-сигнал (GS)” или “сигнал-земля (SG)”, шаг между иглами наконечника определяется под требования заказчика в диапазоне от 50 до 2540 мкм. Иглы могут быть изготовлены из BeCu, вольфрама или никеля.

Доступные модели:

- PP-40A, DC - 40 ГГц, вносимые потери менее 0,8 дБ, обратные потери менее 18 дБ

- PP-40M, DC - 40 ГГц, вносимые потери менее 0,4 дБ, обратные потери менее 20 дБ

- PP-50A, DC - 50 ГГц, вносимые потери менее 1,0 дБ, обратные потери менее 18 дБ

- PP-67A, DC - 67 ГГц, вносимые потери менее 1,1 дБ, обратные потери менее 14 дБ

- PP-110H, вносимые потери менее 1,5 дБ, обратные потери менее 15 дБ

Модели PP-50, PP-75, PP-90, PP-120, PP-140, PP-170, PP-220, PP-325, волноводные

Зонды данной серии оснащены волноводным трактом передачи, что позволяет выполнять высокоточные измерения в микроволновом диапазоне частот до 325 ГГц. Зонды обеспечивают малые вносимые и обратные потери. Доступные конфигурации “земля-сигнал-земля (GSG)”, “земля-сигнал (GS)” или “сигнал-земля (SG)”, шаг между иглами наконечника определяется под требования заказчика. Иглы изготовлены из BeCu.

Доступные модели:

- PP-50, 33 - 50 ГГц, вносимые потери менее 1,0 дБ, обратные потери менее 15 дБ

- PP-75, 50 - 75 ГГц, вносимые потери менее 1,25 дБ, обратные потери менее 15 дБ

- PP-90, 60 - 90 ГГц, вносимые потери менее 1,5 дБ, обратные потери менее 15 дБ

- PP-120, 75 - 120 ГГц, вносимые потери менее 1,75 дБ, обратные потери менее 15 дБ

- PP-140, 90 - 140 ГГц, вносимые потери менее 1,8 дБ, обратные потери менее 15 дБ

- PP-170, 110 - 170 ГГц, вносимые потери менее 1,9 дБ, обратные потери менее 15 дБ

- PP-220, 140 - 220 ГГц, вносимые потери менее 2,0 дБ, обратные потери менее 15 дБ

- PP-325, 220 - 325 ГГц, вносимые потери менее 2,5 дБ, обратные потери менее 15 дБ


Зондовые иглы

Зондовые иглы устанавливаются на зондодержатели и осуществляют непосредственный контакт с площадками тестируемого устройства. Компания Micromanipulator изготавливает зондовые иглы различных размеров и из различных материалов для выполнения широкого спектра измерений. Рекомендуемые сферы применения для зондовых игл можно определить исходя из приведенных ниже данных:

 

Модель Описание Сфера применения
Малый диаметр иглы (диаметр 0,005 дюйма, 127 мкм), гибкий ствол иглы Для площадок размером менее 1 мкм
Игла повышенной прочности для крупных площадок Общее назначение
7B-G Зондовая игла общего назначения, позолоченная (исключения: 7B, 7B-1, 7B-2) Зондовые измерения с низким сопротивлением, зондовые измерения больших токов
Тип «кошачий ус» (диаметр иглы 127 мкм) для площадок малого размера, очень прочная игла Высокая жёсткость, для пассивированных или окисленных площадок
7D Игла из карбида вольфрама для резки Резка
7F Специализированное наконечник (25 мкм), никелевый ствол иглы, для площадок малого размера Температурные измерения, низкая жёсткость, будет деформироваться вместе с тепловым расширением и сжатием образца
7G Зондовая игла повышенной прочности такой же формы, что и модель 7B, но более короткая Общего назначения
7H Остриё из бериллиево-медного сплава Для измерений на хрупких контактных площадках или поверхностях, мягкий наконечник с низким сопротивлением
7X и 7X-SHORT (укороченная) Самая острая из доступных зондовых игл, гибкая, тип «кошачий ус», диаметр иглы 76,2 мкм Субмикронное зондирование
7S Вольфрамовая, очень острая, самая гибкая зондовая игла Низкая жёсткость, идеальна для температурных измерений

 

Зондовые иглы с высокой электропроводимостью (HCT)

Зондовые иглы моделей 7A, 7B, 7F, 7G, 7S, 7X можно заказать в варианте с высокой электропроводимостью (просто добавьте «-HCT» к артикулу (названию модели)). Зондовые иглы HCT позволяют также снизить степень повреждения контактных площадок тестируемого устройства при повторяемых измерениях в 5 раз или более.