Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система MBE Veeco GEN930

Производитель: Veeco Instruments

Гибкая R&D платформа GEN930 для роста материалов AIIIBV-AIIBVI c возможностью встраивания большого числа аналитических модулей контроля в режиме реального времени (дифракция быстрых электронов, пирометрия, эллипсометрия, отслеживание оптического потока, отражательная спектроскопия), используется для исследовательских целей. Система GEN930 использует лучшие элементы дизайна установки GENII (более 220 инсталляций по всему миру), такие систему перемещения образцов и части ростовой камеры. Поддерживается работа с подложками до 76 мм.

 

Сравнительная таблица МЛЭ систем

Модель МЛЭ системы Назначение Тип загрузки образцов Диаметры пластин
GENxplor Исследования Ручной 1х76 мм
GEN930 Исследования Ручной 1х76 мм
GEN10 Углубленные исследования Автоматический 1х76 мм
GEN20 Углубленные исследования / Пилотное производство Ручной / Автоматический 1х76 мм
1х100 мм
3х50 мм
GEN200 Производство средних масштабов Автоматический 1х200 мм
1х150мм
4х100мм
7х76 мм
14х50 мм
GEN2000 Производство больших масштабов Автоматический 3х200 мм
7х150мм
14х100мм
23х76 мм

 

Производитель
Компания Veeco Instruments ведет свою историю с основанной в 1945 году в США компании Vacuum Electronic Equipment Company. Главным фокусом деятельности компания является создание оборудования для роста, осаждения и травления тонких пленок материалов.