Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Установка быстрого вжигания UniTemp RTP-100-HV

Производитель: Unitemp GMBH

Печь RTP-100-HV предназначена для проведения термической обработки полупроводниковых пластин, в которых требуется высокая скорость нагрева и охлаждения в условиях высокого вакуума. Компактный дизайн и простота в использовании делают эту модель наиболее привлекательной для использования в лабораториях и R&D центрах при проведении исследований и разработке новых устройств.

Печь оснащена современным контроллером с сенсорным экраном диагональю 7 дюймов. Программное обеспечение позволяет создавать до 50 программ температурной обработки, включающих в себя до 50 шагов. Также программное обеспечение позволяет контролировать в ручном режиме скорость нагрева и охлаждения, подачу инертного газа, устанавливать пароль доступа и осуществлять запись данных проводимых процессов.

Печи UniTemp могут быть сконфигурированы под задачи, необходимые заказчику. Печь быстрого термического отжига UniTemp RTP-100-HV может оснащаться дополнительными линиями подачи газов (до трёх дополнительных линий), камерой из кварцевого стекла, второй рабочей камерой, дополнительной термопарой, системой автономного охлаждения (чиллером) и вакуумными системами различной производительности с предельно достижимым давлением в рабочей камере от 2 до 10-3 гПа (10-6 гПа в модели с индексом HV).

 

Технические характеристики:

Макс. размер пластин 100 мм (4”)
Материал камеры Нерж. сталь (опционально кварцевое стекло)
Система загрузки подложек поддон из кварцевого стекла
Уровень вакуума до 10-6 мбар (торр)
Размеры рабочей камеры 110 х 110 х 11 мм
Макс. температура 1200 °С
Нагрев ИК лампы (18 кВт)
Зоны нагрева верхняя и нижняя (программируемые)
Скорость нагрева до 150 К/сек (для пластины 100 мм)
Скорость охлаждения

с 1200 °С до 400 °С : 200 К/мин

с 400 °С до 100 °С : 30 К/мин

Температурный контроллер встроенный
Газовые линии

Одна газовая линия (возможна установка до трёх

дополнительных линий)

Эл. питание 3x32 А, 230 В, 3 фазы, тип подключения CEE
Габаритные размеры печей 505х504х580 мм
Вес печи 70 кг

 

Производитель

Компания UniTemp GmbH основана в Германии в августе 2000 г. UniTemp работает в сфере разработки и производства оборудования для термических процессов в микроэлектронике. Одним из основных на правлений развития компании является создание систем быстрого высокотемпературного вжигания с высокими показателями скорости температуры нагревания и охлаждения.