Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Прибор для измерения толщины F3-sX

Производитель: FILMETRICS

Новое семейство систем F3-sX специально разработано для измерения полупроводниковых и диэлектрических слоев толщиной до 3 мм.

Такие толстые слои, как правило, грубее и менее однородны по сравнению с тонкими слоями, однако F3-sX, с размером измерительного светового пятна всего в 10мкм, легко справляется с этой задачей. Скорость измерения до 1 кГц делает F3-sX наилучшим выбором для множества in-line приложений (например, для рулонных технологий (roll-to-roll)).

Базовая комплектация систем состоит из встроенного спектрометра, блока светового излучения, столика для образцов, программного обеспечения и образца с эталонным значением  коэффициента отражения. Прибор может быть оснащен дополнительным программным обеспечением, моторизированным столиком, опциями видеокамеры и подсветки места измерения.

 




Модель


Диапазон толщин

(n=1,5)


Диапазон толщин

(n=3,5)


Диапазон длин волн


Точность определения толщины


Размер светового пятна


F3-s980


10мкм-1мм


4мкм-350мкм


960-1000нм


0,4% или 50нм


10мкм


F3-s1310


15мкм-2мм


7мкм-1мм


1280-1340нм


F3-s1550


25мкм-3мм


10мкм-1,3мм


1520-1580нм


VIS Extension


15нм-70мкм


6нм-25мкм


380-1050нм


0,2% или 2нм


8 или 100мкм

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.