Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Эллипсометрические порозиметры PS-серии

Производитель: SEMILAB

Метрологические порозиметры PS-серии используют метод эллипсометрической порозиметрии, что позволяет получать точные измерения толщины, показателя преломления, пористости, модуль Юнга, распределение пор по размерам в тонких пленках, таких как ультра low-k пленки, пористый кремний, слои из наночастиц, оксиды металлов... Сочетание спектроскопической эллипсометрии и циклической адсорбции в высоковакуумной камере образует комплексное решение, позволяющее детектировать и контролировать поры размером от 0,5 до 60 нм.

Семейство порозиметров PS-серии имеет различную степень автоматизации и, в различных модификациях, позволяет измерять образцы размером от 25  до 450 мм в диаметре. Дополнительный подогрев камеры, доступный на некоторых 300 мм моделях, обеспечивает передовые возможности измерения, такие, например, как одноосный коэффициент теплового расширения (КТР). Это помогает выявлять проблемы, которые могут в дальнейшем привести к трещинам или расслоению пленок.
 

 




Модель


Размер образца


Картографирование


Особенности


PS-1000


до 25 мм


Нет


Ручной гониометр без опции светового микропятна


PS-1100


Нет


Автоматизированный гониометр и камера, опция светового микропятна


PS-1500


до 300 мм


Не


Ручная загрузка с опцией светового микропятна


PS-2000


Да


Ручная загрузка, автоматизированное перемещение пластин, опционально нагрев в камере


PS-2500


300 мм


Да


Полная автоматизация


PS-5100


до 450 мм


Да


Ручная загрузка, автоматизированное перемещение пластин


PS-5500


450 мм


Да


Полная автоматизация


PS-5930


300/450 мм


Да


Полная автоматизация, 2 шлюза загрузки

Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41