Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система контроля качества пластин для фотовольтаики PVS 5000 с функцией сортировки

Производитель: SEMILAB
Компания Semilab является лидером в сфере метрологического оборудования для фотовольтаики. PVS 5000 – высокопроизводительная система контроля качества полупроводниковых пластин с функцией сортировки. Система отвечает всем современным требованиям к оборудованию такого класса и представляет собой комплексное решение «под ключ».
 
Возможности PVS5000:
 
  • Устранение поврежденных пластин из дальнейшего процесса
  • Устранение из дальнейшего процесса пластин сильно отличающихся по толщине
  • Сортировка потенциально дефектных пластин (с микротрещинами)
  • Сортировка по удельному сопротивлению и времени жизни носителей заряда
  • Сортировка пластин с дислокациями, высоким загрязнением нежелательными примесями и плотности вакансий
  • Загрузка пластин из кассеты
  • Сортировка по кассетам
  • Высокая пропускная способность

 

Производительность

До 3600 пластин/час

Размер обрабатываемых пластин

156 мм (опционально 125 или 210 мм)

Толщина обрабатываемых пластин

130-300 мкм

Время полезной работы

>95%

Минимально детектируемые микротрещины

100 мкм

Минимально детектируемые загрязнения

0,1х0,1мм

Точность контроля толщины

2 мкм

Контролируемый диапазон удельного сопротивления

0,3-10 Ом∙см

Контролируемый диапазон времени жизни носителей заряда

0,1-1000 мкс

 
 
Производитель
Компания Semilab была основана в 1989 году группой ученых из Научно-исследовательского института технической физики Венгерской академии наук. К настоящему времени компания стала мировым лидером в разработке и производстве метрологического оборудования для контроля качества фотоэлектронных элементов и 4-й компанией в мире среди производителей приборов для контроля качества полупроводников, тонких плёнок и наноматериалов. За 26 лет работы компания разработала свыше 35 семейств оборудования.

Semilab сегодня, это:

- Лаборатории, офисы и производство общей площадью свыше 11 000 м2
- Более 350 работников по всему миру, 51 из которых по образованию физики
- 25 сотрудников со степенью кандидата наук в области физики (7 в Венгрии)
- Патенты: полностью принадлежит - 90, приложения - 8, лицензированные - 41