Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система вакуумной пайки UniTemp RVS-210-S

Производитель: Unitemp GMBH

Система вакуумной пайки RVS-210-S - компактная настольная система, предназначенная для использования в лабораториях и чистых помещениях. Вакуумнополотная камера оборудована смотровым окном для визуального контроля за процессом. Система стандартно оснащена линией подачи инертного газа с цифровым регулятором расхода газа. Система RVS-210-S доступна в модификации HV (High Vacuum), в которой можно достичь уровня вакуума до 10-6 мбар, что позволяет использовать её для герметизации МЭМС-структур. Большая рабочая область (210х210 мм) позволяет проводить групповую обработку малых образцов или единичную обработку образцов, размер которых не превышает 200х200 мм.

Области применения:

  • Пайка с флюсом и другими загрязняющими веществами;
  • flip-chip процессы;
  • Адгезивный бондинг;
  • Оплавление шариков припоя;
  • Герметизация корпусов;
  • Пайка силовых компонентов;
  • Тепловая обработка полупроводниковых пластин;
  • Контроль качества.

Технические характеристики:

Зона нагрева

210 х 210 мм

Высота камеры 50 мм (опционально 80 мм)
Диаметр смотрового окна 60 мм
Подача газа

Одна газовая линия с цифровым расходомером

(опционально 2 доп. линии)

Уровень вакуума до 10-3 мбар (до 10-6 мбар в модели с индексом HV)
Макс. температура до 400 °С (до 500 °С опционально)
Скорость нагрева до 120 К/мин
Скорость охлаждения до 120 К/мин
Управление Встроенный контроллер SIMATIC© с сенсорным экраном
Охлаждение Водяное принудительное
Электропитание 230 В, 50 Гц, 9 кВт. тип подключения CEE

 

Производитель

Компания UniTemp GmbH основана в Германии в августе 2000 г. UniTemp работает в сфере разработки и производства оборудования для термических процессов в микроэлектронике. Одним из основных на правлений развития компании является создание систем быстрого высокотемпературного вжигания с высокими показателями скорости температуры нагревания и охлаждения.