Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Прибор для измерения толщины твердых пленок F10-HC

Производитель: FILMETRICS
Назначение установки
Прибор Filmetrics F10-HC предназначен для измерения толщин одно-и многослойных твердых пленок.

Толщиномер F10-HC основан на платформе Filmetrics F20, где анализ отражения и получения данных происходит мгновенно. Усовершенствованные алгоритмы моделирования в программном обеспечении F10-HC специально предназначены для измерения толщины образцов, состоящих из одного или нескольких слоев материала, в том числе и изогнутого, как например поликарбонат.

F10-HC очень прост в эксплуатации, подключается к USB-порту компьютера и устанавливается за считанные минуты. Благодаря опции Template mode, пользователь может загружать изображение образца в компьютер и выбирать точки для измерения прямо на изображении. При этом пользователь автоматически уведомляется о возможности измерения в той или иной точке.

Базовая комплектация состоит из встроенного спектрометра, блока светового излучения, программного обеспечения, образцов с эталонными значениями толщины и коэффициента отражения.

Диапазон толщин

50нм-70мкм

Диапазон длин волн

380-1050нм

Точность определения толщины

0,4% или 10нм

Воспроизводимость

1нм

Стабильность

1нм

Размер светового пятна

200мкм

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.