Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Инструменты для подачи, перемещения, загрузки, выгрузки, хранения, транспортировки, контроля пластин

В процессе производства микро- и наноэлектронных устройств будь-то МЭМС, НЭМС, СВЧ устройства, различные ИС, оптоэлектронные устройства встает вопрос о хранение, транспортировке, контроле пластин, различных манипуляциях (переносе, перемещении) над полупроводниковыми пластинами/подложками, либо отдельными кристаллами. Полупроводниковые пластины необходимо транспортировать до места производства и во время производственного цикла. На производстве также возникает необходимость перемещения полупроводниковых пластин/кристаллов между различными производственными операциями, без повреждения созданной структуры.

Для различного рода манипуляций над отдельными пластинами/кристаллами используются либо вакуумные манипуляторы, которые состоят из вакуумного захвата, вакуумного наконечника, спиральной вакуумной трубки и подставки, либо механические пинцеты.

Держатели пластин (скачать файл в формате PDF)

Для хранения, транспортировки, групповой обработки и многих других операций с пластинами, подложками, кристаллами, фотошаблонами, на производстве используются различные кассеты, ящики, коробки, контейнеры. Представляем вам продукцию ведущих фирм в этой области.

Кассеты, контейнеры (скачать файл в формате PDF)

В процессе производства возникает необходимость выровнять (ориентировать) пластины в кассете, для этого используются различные ориентаторы. Принцип их действия основан на вращении пластин внутри кассеты и выравнивании по срезу или по прорезу, которые делаются на пластинах согласно международным стандартам.

На производстве также используются установки для перегрузки, загрузки, выгрузки, сортировки пластин. Например, автоматические или ручные перегрузчики пластин между кассетами, пластиноподающие устройства, сортировщики пластин и многие другие.

Ориентаторы, перегрузчики, сортировщики (скачать файл в формате PDF)