Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Быстрые термические процессы

К быстрым термическим процессам относятся: постимплантационный отжиг, отжиг контактов, рекристаллизационный отжиг, быстрое термическое окисление.

Постимплантационный отжиг используется для того, чтобы легирующие примеси, внесенные каким-либо методом в подложку, равномерно распределились по объему. Тем самым получается равномерное распределение примеси и одновременно происходит восстановление кристаллической решетки.

Отжиг контактов после осаждения металлов производят для снятия внутренних механических напряжений, а также для стимулирования запланированной твердофазной реакции между металлом и полупроводником. Благодаря этому процессу происходит улучшение структуры металла и тем самым достигается большая однородность, происходит снятие внутренних напряжений.

Быстрое термическое окисление — это процесс роста пленки оксида на поверхности подложки. Основным отличием от обычного термического окисления является высокая скорость достижения необходимой температуры и небольшое время ее удержания. Этот процесс используется в тех случаях, когда длительное воздействие высоких температур приводит к недопустимому перераспределению примесей в объеме полупроводника.

Применение:

  • Снятие механических напряжений и устранение структурных дефектов, перераспределение примесей.
  • Формирование на поверхности пленок оксидов.

 

Система вакуумной пайки RVS-210-S - компактная настольная система, предназначенная для использования в лабораториях и чистых помещениях. Вакуумнополотная камера оборудована смотровым окном для визуального контроля за процессом.
Печь RTP-150 предназначена для проведения термической обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм, в которых требуется высокая скорос
Печь RTP-100-HV предназначена для проведения термической обработки полупроводниковых пластин, в которых требуется высокая скорость нагрева и охлаждения в условиях высокого вакуума.
Для очищения выпускаемого воздуха, особенно в процессах выжигания, компания Nabertherm предлагает подключаемые системы очистки выпускаемого воздуха.
Печь N 110/HS используется в особенности для ваграночных проб благородных металлов, при которых изоляцию и нагревательные элементы необходимо защищать от выходящих газов и паров. Пространство печи образует легко заменяемый керамический муфель.
Пространство градиентной печи GR 1300/13 разделено на шесть равных зон управления. В каждой из шести зон нагревания можно устанавливать нужную температуру. Загрузка печи производится через параллельную поворотную дверь, расположенную на боковой стороне.
Эти модели оптимально подходят для моделирования типичных процессов быстрого обжига до максимальной температуры обжига 1300 °C.
Эти компактные плавильные печи для плавления цветных металлов и особых сплавов являются уникальными и обладают многочисленными техническими преимуществами. Выполненные в виде настольных моделей, эти печи используются во множестве лабораторных ситуаций.
Высокотемпературные трубчатые печи поставляются как в горизонтальном исполнении (тип RHTH), так и в вертикальном (тип RHTV).
Если на первом месте стоит, например, сохранение зернистости материала, как при сушке или кальцинировании, оптимальным решением будут вращающиеся трубчатые печи серии RSR. Постоянное вращение рабочей трубы обеспечивает непрерывное движение партии.
Трубчатые печи RS могут применяться как для горизонтального, так и для вертикального режима. Эти профессиональные трубчатые печи можно оптимальным образом адаптировать к Вашим процессам за счет разнообразных принадлежностей.
Эти компактные трубчатые трубы с нагревом, стержнями из карбида кремния и встроенным распределительным устройством с контроллером, универсально используются для многих процессов.
Эти компактные трубчатые печи используются в случаях, когда необходимо проведение лабораторных опытов в горизонтальном или вертикальном положении или при определенном угле.
Эти камерные печи с циркуляцией воздуха, в особенности отличает очень хорошая oднородность температуры.
При максимальной рабочей температуре 300 °C и ускоренной циркуляции воздуха, сушильные шкафы обеспечивают отличную однородность температуры, выделяющую их среди многих конкурирующих моделей.
Серия HFL 16/16 - HFL 160/17 характеризуется в частности обшивкой из прочного огнеупорного легковесного кирпича. Это исполнение рекомендуется в том случае, если во время процесса выделяются агрессивные газы или кислоты, как например, при плавлении стекла.  
Камерные высокотемпературные печи HTC 16/16 - HTC 450/16 со стержневыми нагревателями с вертикальной подвеской превосходно подходят для процесса спекания при температуре 1550 °C.
За счет надежной конструкции при компактном напольном исполнении эти высокотемпературные печи подходят для использования в лаборатории, где требуется высочайшая точность.
Данные печи разработаны специально для определения потери при прокаливании и проведения термогравиметрического анализа (ТГА) в лабораторных условиях.
Круговой обогрев цилиндрического пространства печи обеспечивает оптимальную равномерность температуры. В модели LHT 02/17 LB товар можно размещать в емкостях из технической керамики. Размещение до трех емкостей друг над другом гарантирует высокую продуктивность.
Разработанные в виде настольных моделей, эти компактные камерные высокотемпературные печи привлекательны благодаря многочисленным преимуществам.
Эти мощные лабораторные муфельные печи поставляются для температур до 1400 °C, 1500 °C или 1600 °C. Высокая стойкость стержней из карбида кремния при периодической работе в сочетании с высокой скоростью нагрева делают эти печи универсальными лабораторными печами.
Лабораторные печи LH 15/12 - LF 120/14 в течение многих лет успешно доказывали свое значение в качестве профессиональных камерных печей для лаборатории.
Чтобы печь выдерживала суровые условия применения в лаборатории, например, при термической обработке металлов, требуется прочная изоляция из огнеупорного легковесного кирпича. Модели N 7/H - N 61/H идеально подходят не только для решения этой проблемы.
Муфельные печи LT 5/11HA - LT 15/11HA с интегрированной циркуляцией воздуха обеспечивают оптимальное распределение тепла в пространстве печи и передачу тепла на садку.
Эта комплектная система, состоящая из печи, интегрированных прецизионных весов и программного обеспечения, была разработана специально для определения потерь при прокаливании в лаборатории.
Модель L 9/11/SKM особенно рекомендуется в случаях, когда Вы работаете с агрессивными веществами. Печь оснащена керамическим муфелем со встроенным обогревом с 4 сторон. Эта печь объединяет хорошую oднородность температуры с хорошей защитой нагревательных элементов при агрессивных атмосферах.
Модели LV 3/11 - LVT 15/11 используются специально для озоления в лаборатории. За счет специальной системы притока и оттока воздуха достигается более чем 6-кратный воздухообмен в минуту. При этом входящий воздух предварительно нагревается, что обеспечивает хорошую oднородность температуры
Благодаря вставленным несущим трубам и свободно излучающим в пространство печи нагревательным элементам в этих моделях достигается особенно короткое время нагрева. Солидная изоляция из огнеупорного легковесного кирпича позволяет достигать максимальной рабочей температуры в 1300 °C.
Благодаря уникальному соотношению цены и возможностей эти компактные муфельные печи прекрасно подходят для различных случаев применения в лаборатории.
Для ежедневного применения в лаборатории прекрасно подходит модельный ряд L 1/12 - LT 40/12. Великолепное исполнение, современный хороший дизайн и высокая степень надежности являются отличительными признаками этого модельного ряда. Печи поставляются с откидной либо подъемной дверцей.  
Вакуумная печь оплавления припоя VSS-450-300 предназначена для обработки образцов размером до 300х300 мм при температуре до 450 °С.
Компактная бюджетная система RSS-310 предназначена для бесфлюсового оплавления паяльных паст, бондинга с применением адгезивов, flip-chip-процессов, герметизации корпусов, а так же различных процессов, в которых необходимо тепловое воздействие на образцы большого размера.
Малогабаритная бюджетная система RSS – 3x210 предназначена для бесфлюсового оплавления паяльных паст, бондинга с применением адгезивов, flip-chip-процессов, герметизации корпусов, а также различных процессов, в которых необходимо тепловое воздействие на образцы.
Печь оплавления припоя RSS-210-S - компактный и простой в использовании настольный инструмент для лабораторий и чистых производственных помещений. Рабочая камера вакуумноплотная и оснащена смотровым окном, что позволяет визуально контролировать процесс пайки.
Малогабаритная бюджетная система RSS -160-S предназначена для бесфлюсового оплавления паяльных паст, бондинга с применением адгезивов, flip-chip процессов, герметизации корпусов, а так же различных процессов, в которых необходимо тепловое воздействие на образцы.    
RSS-110-S - это компактный и простой в использовании настольный инструмент для пайки, который разработан для применения в лабораториях и чистых производственных помещениях в условиях ограниченного пространства.
Печь RSO-200 предназначена для температурной обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм и подложек прямоугольной и иных форм размером 200х170 мм как в процессе различных исследований, так и в мелкосерийном производстве.
Печь RSO-200 предназначена для температурной обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм и подложек прямоугольной и иных форм размером 200х170 мм как в процессе различных исследований, так и в мелкосерийном производстве.
Печь RTP-150 предназначена для проведения термической обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм, в которых требуется высокая скорость нагрева и охлаждения, в том числе в вакууме и в инертных средах.
Печи серии LS используются для моделирования типичных процессов быстрого обжига вплоть до максимальной температуры обжига 1300 °С. Сочетание высокой производительности с малой тепловой массой и мощным вентилятором позволяет сократить время цикла от холода к холоду до 35 минут.
Вакуумная печь быстрого термического отжига UniTemp VPO-300-1000 - это установка класса R&D, в которой реализован высокоскоростной нагрев образцов с помощью инфракрасных ламп.
Печь RTP-100 предназначена для проведения процессов термической обработки полупроводниковых пластин, в которых требуется высокая скорость нагрева и охлаждения в вакууме и в инертных средах.