Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Активация поверхности

Плазменная активация поверхности материалов представляет собой изменение физико-химических свойств поверхности при обработке ее в плазме неполимеробразующих газов (кислород, азот, оксиды азота, аммиак, инертные газы). Бомбардировка поверхности полимера энергетическими частицами плазмы разрушает ковалентные связи между поверхностными атомами. В результате проведения плазмохимической обработки на поверхности материала образуются поверхностные радикалы, которые значительно повышают адгезионные свойства и химическую активность материала.

Применение:

  • Предварительная обработка перед нанесением фоторезиста.
  • Предварительная обработка пластмассовых изделий перед склеиванием.
  • Предварительная обработка пластмассовых изделий перед нанесением полимерных покрытий.
Установки плазменной очистки поверхности Diener серии NANO предназначены для очистки и активации поверхности изделий из полупроводниковых, кварцевых, стеклянных и прочих диэлектрических материалов в вакууме.
Установки плазменной очистки поверхности Diener серии PICO предназначены для очистки и активации поверхности изделий из полупроводниковых, кварцевых, стеклянных и прочих диэлектрических материалов в вакууме.
Серия Plasmabeam предназначена для локальной обработки поверхности с помощью атмосферной плазмы. Система оснащена встроенным генератором на 20 кГц, 300 Вт и позволяет селективно обрабатывать поверхность с шириной полосы около 12 мм.
Установки плазменной обработки поверхности Diener серии Tetra предназначены для очистки, активации и травления поверхности, а также нанесения покрытий на изделия из полупроводниковых, кварцевых, стеклянных и прочих материалов в вакууме.
Установки плазменной обработки поверхности Diener серии FEMTO предназначены для очистки, активации и травления поверхности изделий из полупроводниковых, кварцевых, стеклянных и прочих материалов в вакууме. Установки снабжены системой вакуумной откачки, включающей вакуумный насос.