Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Рефлектометр F2 (aRTie)

Производитель: FILMETRICS

Filmetrics aRTie – прорыв в спектральных рефлектометрах, это компактный и чрезвычайно простой прибор для измерения толщины, коэффициента отражения и пропускания тонких пленок.  aRTie подключается к компьютеру через USB порт уже через несколько минут готов к работе, прогрев лампы составляет всего 10 секунд. Сами измерения также составляют считанные секунды. Двулучевая оптическая система aRTie и встроенная калибровка длины волны обеспечивают точные измерения. Источника излучения aRTie хватает на 40 000 часов работы, что исключает его постоянное обслуживание. Кроме того, прибор может быть оснащен дополнительным программным обеспечением, а так же набором эталонов различных толщин.

 

 

Модель

aRTie

aRTie-UV

Диапазон толщин

15нм-70мкм

1нм-40мкм

Диапазон длин волн

380-1050нм

190-1100нм

Точность определения толщины

0,4% или 2нм

0,2% или 1нм

Воспроизводимость

0,1нм

0,02нм

Стабильность

0,07нм

0,05нм

Размер светового пятна

6мм

6мм

Точность поддержания длины волны

<0,5нм

<0,5нм

Воспроизводимость длины волны

0,1нм

0,1нм

Разрешение длины волны

2,5нм

2,5нм

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.