Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Прибор для измерения толщин париленовых покрытий F10-PA

Производитель: FILMETRICS
Назначение установки
Filmetrics F10-PA специально предназначен для измерения толщин париленовых покрытий, позволяя любому пользователю с базовыми навыками владения компьютера проводить измерения за считанные секунды.

Запатентованная функция AutoBaseline резко сокращает время измерения и автоматически регулирует чувствительность инструмента. Прибор практически исключает предварительную калибровку, выдает достоверные результаты и исключает ошибки пользователя.

Система F10-PA содержит все необходимое для измерения париленовых покрытий на прозрачных и непрозрачных подложках. Программное обеспечение FILMeasure включает в себя оптические константы (n, k) для парилена C, N и HT, а так же простой в интерпретации алгоритм расчета толщины слоев. Прибор весьма прост в эксплуатации, подключается к USB-порту компьютера и ужде через несколько минут готов к работе.

Диапазон толщин

200нм (опционально 15нм)-75мкм

Диапазон длин волн

380-1000нм

Точность поддержания длины волны

<0,5нм

Воспроизводимость длины волны

0,1нм

Точность определения толщины

0,5% или 10нм

Воспроизводимость

1нм

Размер светового пятна

200мкм

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.