Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Прибор измерения толщины малых образцов F3

Производитель: FILMETRICS
Назначение установки
Filmetrics F3 предназначен для измерения толщины и показателя преломления пленок в образцах малых размеров.

Как и все приборы Filmetrics, F3 подключается к компьютеру через USB порти уже через несколько минут готов к работе. Программное обеспечение FILMeasure включает в себя оптические константы (n, k) для большинства диэлектрических и полупроводниковых слоев. Результаты измерений толщины предоставляются в режиме реального времени на дисплее.

Базовая комплектация состоит из встроенного спектрометра, блока светового излучения, программного обеспечения и образца с эталонным значением  коэффициента отражения. Прибор может быть оснащен дополнительным программным обеспечением.

 

Модель  Диапазон толщин Диапазон длин волн Точность определения толщины Воспроизводимость Стабильность Размер светового пятна
F3 15нм-70мкм 380-1050нм 0,4% или 2нм 0,1нм 0,07нм 1,5мм (опционально до 20 мкм
F3-UV 3нм-40мкм 200-1100нм 0,4% или 1нм 0,1нм 0,07нм
F3-NIR 100нм-250мкм 950-1700нм 0,4% или 3нм 0,2нм 0,12нм
F3-XT 200нм-450мкм 1440-1690нм 0,4% или 5нм 1нм 1нм 600 мкм
F3-XXT 5мкм-3мм 1520-1580нм 0,4% или 50нм 5нм 5нм 25 мкм

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.