Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Толщиномер F3-XXT

Производитель: FILMETRICS

Измерения толщин больших чем 100мкм является сложной задачей для большинства тонкопленочных систем измерения, так как они измеряют толщину по спектральной частоте отражения интерференционных осцилляций, а толщины более 100мкм дают частоты превосходящие спектральное разрешение большинства  спектрометров. Однако при помощи разработанного Filmetrics спектрометра, F3-XXT успешно справляется с этой задачей и позволяет измерять структуры толщиной до 3мм. Оптическая система прибора позволяет достичь размера светового пятна в 25 мкм, что дает возможность измерять даже достаточно шероховатые и неоднородные структуры.

 

 Диапазон толщин

5мкм-3мм

Точность определения толщины

0,4% или 50нм

Воспроизводимость

5нм

Стабильность

5нм

Размер светового пятна

25мкм

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.