Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Измеритель толщин F30

Производитель: FILMETRICS
Назначение установки
Универсальная настольная система Filmetrics F30 предназначена для измерения скорости осаждения, оптических констант (n и k) и однородности как полупроводниковых, так и диэлектрических слоев в режиме реального времени.

Легко могут быть измерены гладкие полупрозрачные или с малым коэффициентом поглощения пленки, полученные методами MBE и MOCVD. Что включает в себя практически любой полупроводниковый материал от AIGaN до GaInAsP. F30 совмещает в себе функции нескольких приборов, позволяя осуществлять предростовую калибровку, мониторинг процесса осаждения в режиме реального времени, может выступать в роли датчика неисправности, а также использоваться при постростовом контроле полученной многослоевой структуры. Эти уникальные функции прибора делают его использование в производственных линиях чрезвычайно эффективным и полезным.



Модель

Диапазон толщин

Диапазон длин волн

F30

15нм-70мкм

380-1050нм

F30-UV

3нм-40мкм

200-1100нм

F30-NIR

100нм-250мкм

950-1700нм

F30-EXR

15нм-250мкм

380-1700нм

F30-UVX

3нм-250мкм

200-1700нм

F30-XT

200нм-450мкм

1440-1690нм

F30-XXT

5мкм-3мм

1520-1580нм

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.