Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Толщиномер для микроскопических измерений F40

Производитель: FILMETRICS
Назначение установки
Filmetrics F40 - Оптический толщиномер, предназначенный для измерения тонких пленок размером до 1 мкм.

Прибор  прост в эксплуатации, соединяясь с компьютером через USB-порт, он уже через несколько минут готов к работе, и, имея простой, интуитивно понятный интерфейс, позволяет проводить измерения любому пользователю с базовыми навыками владения компьютера. Прибор поставляется в комплекте со встроенной цветной видеокамерой, что позволяет точно контролировать место измерения толщины. F40 позволяет за считанные секунды измерить толщину и основные оптические параметры тонких пленок, такие как, показатель преломления и коэффициент экстинкции.

В базовую комплектацию входит встроенный спектрометр, блок источника излучения, программное обеспечение, оптоволоконный кабель, адаптер для микроскопа, образцы эталонного значения толщины и коэффициента отражения, антиотражатель. Дополнительно возможно оснащение системы NIST-эталонами, набором эталонов различных толщин, микроскопом.

 


Модель

Диапазон толщин, в зависимости от объектива Диапазон длин волн Точность определения толщины Воспроизводимость Стабильность Размер светового пятна
F40 20нм-50мкм 400-850нм 0,2% или 2нм 0,02нм 0,05нм 1-100мкм
F40-UV 4нм-30мкм 200-1100нм 0,2% или 1нм 0,02нм 0,05нм 7-33мкм
F40-NIR 40нм-150мкм 950-1700нм 0,2% или 3нм 0,1нм 0,12нм 1-100мкм
F40-EXR 20нм-150мкм 400-1700нм 0,2% или 2нм 0,02нм 0,05нм 1-100мкм
F40-UVX 4нм-100мкм 200-1700нм 0,2% или 1нм 0,02нм 0,05нм 7-33мкм
F40-XT 200нм-300мкм 1440-1690нм 0,2% или 5нм 1нм 1нм 1-100мкм
F40-XXT 5-450мкм 1520-1580нм 0,2% или 50нм 5нм 5нм 7-100мкм

 

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.