Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Прибор для измерения толщины тонких пленок F54

Производитель: FILMETRICS
Назначение установки
Filmetrics F54 позволяет быстро измерять карты распределения толщин в образцах диаметром до 450мм.

Моторизованный столик автоматически передвигается к следующей измеряемой точке, обеспечивая скорость измерения в двух точках за 1 секунду. При этом, пользователь может выбрать измерительный шаблон из предустановленных вариантов или же создать свой собственный, с неограниченным числом измеряемых точек. F54 превосходно подходит для измерения различных полимерных слоев, оксида и оксинитрида кремния, поликремниевых  и пленок из аморфного кремния, а также фоторезистов, полиамидов и алмазоподобных углеродных пленок. Прибор настраивается за считанные минуты, и, имея простой, интуитивно понятный интерфейс, позволяет проводить измерения любому пользователю с базовыми навыками владения компьютера.


Модель Диапазон толщин, в зависимости от объектива Диапазон длин волн Точность определения толщины Воспроизводимость  Стабильность Размер светового пятна
F54 20нм-40мкм 400-850нм 0,4% или 2нм 0,02нм 0,05нм 1-100мкм
F54-UV 4нм-30мкм 200-1100нм 0,4% или 1нм 0,02нм 0,05нм 7-33мкм
F54-NIR 40нм-120мкм 950-1700нм 0,4% или 3нм 0,1нм 0,12нм 1-100мкм
F54-EXR 20нм-120мкм 400-1700нм 0,4% или 2нм 0,02нм 0,05нм 1-100мкм
F54-UVX 4нм-100мкм 200-1700нм 0,4% или 1нм 0,02нм 0,05нм 7-33мкм
Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.