Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

Система измерения толщины тонких пленок F64-c

Производитель: FILMETRICS
Назначение установки
С помощью F64-c могут быть легко и быстро получены карты распределение толщины и основных оптических параметров тонких пленок.

Чрезвычайно прецизионный столик для образцов совместно с программным обеспечением, в зависимости от выбранного шаблона, обеспечивают автоматический выбор точки измерения, скорость измерения в каждой точке составляет 1,5 секунды. Интегрированный в систему генератор шаблонов позволяет пользователю создавать линейные, прямоугольные, а также заданные в полярных координатах шаблоны карт измерений. На моторизованной башне установки могут быть одновременно размещены до четырех объективов, отличающихся размером светового пятна для обеспечения оптимальных параметров измерений. Автоматическая кассетная система позволяет загружать пластины прямо из кассеты, что уменьшает суммарное время измерений, а также позволяет автоматически определять размер кассеты и легко переключаться между ними.

Анализ измеряемых характеристик проводится в сравнении с эталонным образцом. F60-c позволяет измерять практически любую гладкую, полупрозрачную или с малым коэффициентом поглощения тонкую пленку. Так наиболее частое применение данной системы связано с измерением толщин различных полимерных слоев, пленок кремния, оксида и оксинитрида кремния, поликремниевых  и пленок из аморфного кремния, а также резистов, полиамидов и алмазоподобных углеродных пленок.

Система оснащена следующим рядом функций: автоматический поиск канавок, автоматическое получение основных характеристик, встраиваемые эталоны, измерительный столик с возможностью блокировки движения, промышленный компьютер с предустановленным программным обеспечением, роботизированная подача пластин из кассеты в кассету. Модели с более короткими длинами волн излучения предназначены для измерения более тонких пленок. При увеличении длин волн излучения появляется возможность изучения более толстых, шероховатых и непрозрачных пленок.

В базовую комплектацию входит встроенный предметный столик, спектрометр, блок источника излучения, 4'', 6'' и 200мм эталонные пластины, эталоны толщины покрытий SiO2 на Si, вакуумный насос, запасная лампа (источник излучения). Дополнительно возможно оснащение системы NIST-эталонами и подложкодержателями.

 

Модель Диапазон толщин Диапазон длин волн Точность определения толщины Воспроизводимость  Стабильность Размер светового пятна
F64-t 20нм-40мкм* 400-850нм 0,4% или 2нм 0,02нм 0,05нм 0,5-100 мкм*
F64-t-UV 3нм-40мкм 190-1100нм 0,4% или 1нм 0,02нм 0,05нм 3,5-33мкм*
F64-t-EXR 20нм-120мкм* 400-1700нм 0,4% или 2нм 0,02нм 0,05нм 0,5-100 мкм*
F64-t-UVX 3нм-100мкм 190-1700нм 0,4% или 1нм 0,02нм 0,05нм 3,5-33мкм*
F64-t-XXT 5мкм-1мм 1520-1580нм 0,4% или 5нм 5нм 5нм 10-100мкм*

 

*В зависимости от объектива и апертуры

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.