Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

ИК-спектрометр S3-NIR

Производитель: FILMETRICS

Filmetrics S3-NIR - портативный спектрометр ближнего инфракрасного диапазона. S3-NIR прост в эксплуатации, соединяясь с компьютером через USB-порт, он уже через несколько минут готов к работе, и, имея простой, интуитивно понятный интерфейс, позволяет проводить измерения любому пользователю с базовыми навыками владения компьютера. Сердцем прибора является монохроматор Черни-Тернера с D-линзой и фильтром второго порядка. 512 пиксельный InGaAs сенсор спектрометра охлаждается с помощью встроенного элемента Пельтье, а источника излучения S3-NIR хватает на 40 000 часов работы, что исключает постоянное обслуживание прибора. Питание прибора может осуществляться как за счет USB-порта компьютера, тогда возможно достичь охлаждения сенсора до -5°С, так и за счет внешнего источника.

 

Спектральный диапазон

Дифракционная решетка

 Обратная линейная дисперсия (среднее значение)

Ширина

щели

FWHM

900-1700нм

200 штрих/мм

1,7 нм/пиксель

10мкм

3нм

930-1700нм

235 штрих/мм

1,5 нм/пиксель

10мкм

3нм

930-1700нм

235 штрих/мм

1,5 нм/пиксель

25мкм

4нм

930-1700нм

235 штрих/мм

1,5 нм/пиксель

50мкм

5нм

1275-1700нм

400 штрих/мм

0,8 нм/пиксель

10мкм

1,5нм

900-1325нм

400 штрих/мм

0,8 нм/пиксель

10мкм

1,5нм

1440-1680нм

600 штрих/мм

0,47 нм/пиксель

10мкм

1нм

 

Производитель
Компания Filmetrics основана в 1995 году в США и на данный момент является мировым лидером по производству простого и доступного оборудования для проведения измерений толщин тонких пленок, широко применяемого в полупроводниковой промышленности. Рефлектометры компании Filmetrics отличаются своей простотой и доступной стоимостью, что при этом, никак не отражается на качестве измерений. Теперь высокоточные измерения занимают считанные секунды, а подготовка оператора для проведения данных измерений – лишь несколько минут.

Модельный ряд установок Filmetrics включает в себя как компактные приборы настольного исполнения, так и отдельностоящие автоматизированные системы с возможностью их встраивания в производственную линию. При этом и сами системы конфигурируются в широком диапазоне исходя из требований измеряемого материала и диапазона толщин, в том числе существуют и системы, специально заточенные под измерения конкретного материала.

Измерительные системы компании Filmetrics предназначены для работы с такими материалами, как аморфный, пористый и поликристаллический кремний (измерение толщины и оптических постоянных), полупроводниковые материалы, диэлектрики, стекло и пластики. Продукция компании получала неоднократное признание таких журналов, как R&D Magazine, Photonics Spectra и др.

Компания Filmetrics бурно развивается, завоевывая сердца все большего количества потребителей. Ежегодно растут показатели продаж компании, что, несомненно, является лучшей рекламой. При этом, компания не стоит на месте и каждый год выпускает несколько новых рефлектометров для измерения различных параметров тонких пленок.