Технологическое оборудование для микроэлектроники
8 (800) 700-08-45
+7 (812) 240-00-78     

DCA Instruments

Компания DCA Instruments, основанная в 1989 году в Финляндии, специализируется на разработке и производстве установок молекулярно-пучковой эпитаксии и систем напыления тонких пленок в сверхвысоком вакууме: PVD, PLD-установок и компонентов для MBE, PVD, PLD систем.

Кластерная система магнетронного распыления Е600 - это многофункциональная платформа для производства приборов на основе эффекта GMR, ионно-пучкового осаждения и ионно-пучкового травления. Система может иметь до 5 процессных камер и шлюз загрузки под одну пластину или под кассеты.
Система E300 является одной из наиболее малогабаритных установок, представленных на рынке. При относительно малых габаритах конструкция системы позволяет использовать электронно-лучевой испаритель как с одной, так и с несколькими ячейками (до 15).
Система DCA M600 является многопрофильной установкой молекулярно пучковой эпитаксии для выращивания пленок и материалов на основе оксидов металлов. Установка M600 доступна в двух вариантах исполнения:
DCA P600 MBE – 3x2” – это высококачественная установка для проведения процессов МЛЭ/MBE, которая прекрасно подходит для решения научно-исследовательских задач. Система позволяет проводить эпитаксиальное выращивание GaN, а также структур типа AIIIBV.
DCA MBE серии S – это автоматические системы для проведения процессов МЛЭ/MBE, которые прекрасно подходят для решения научно-исследовательских задач. Системы разработаны для SiGeC и Si/металлы/оксиды.
DCA MBE серии R - это компактные системы для проведения процессов МЛЭ/MBE, которые прекрасно подходят для решения научно-исследовательских задач. Системы позволяют проводить эпитаксиальное выращивание GaN, а также структур типа AIIIBV и AIIBVI.